[發(fā)明專利]一種無(wú)機(jī)/有機(jī)多層復(fù)合隔膜的制備方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210577771.8
• 申請(qǐng)日: 2012-12-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103066228A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-04-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐睿杰;雷彩紅;莫康信;胡冰;石文強(qiáng);蔡啟;張海燕
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廣東工業(yè)大學(xué)
• 主分類號(hào): H01M2/16
• 分類號(hào): H01M2/16;C23C14/20;C23C14/34
• 代理公司: 廣州粵高專利商標(biāo)代理有限公司 44102
• 代理人: 林麗明

1.一種無(wú)機(jī)/有機(jī)多層復(fù)合隔膜的制備方法，其特征在于包括如下步驟：

1）?將隔膜浸泡在有機(jī)溶劑中，超聲波震蕩15～30min清洗隔膜表面，在烘箱中干燥?，然后將其裁剪為方形隔膜；

2）?將上述方形隔膜及靶材放入射頻濺射設(shè)備中；

3）?調(diào)整射頻濺射設(shè)備的氣壓為0.1~1.0Pa，后充入反應(yīng)氣體，濺射功率為5～80W、濺射時(shí)間為5~100min?；

4）?運(yùn)行設(shè)備，靶材等離子體轟擊氣體分子后形成無(wú)機(jī)物/有機(jī)物沉積在隔膜的兩側(cè)，制得無(wú)機(jī)/有機(jī)多層復(fù)合隔膜。

2.如權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于：步驟1）中，?所述的隔膜是聚乙烯隔膜、聚丙烯隔膜、聚丙烯/聚乙烯/聚丙烯多層復(fù)合隔膜、聚丙烯無(wú)紡布中的一種。

3.如權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于：步驟1）中，所述的有機(jī)溶劑是丙酮、無(wú)水乙醇、甲醇、正己烷中的一種或幾種。

4.如權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于：步驟2）中，所述的靶材是金屬靶材、非金屬靶材或它們的混合物靶材；所述金屬靶材是鎳靶、鋁靶、鈷靶、鋯靶或鋅靶；非金屬靶材是硅靶；混合物靶材是硅鋁靶。

5.如權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于：步驟3）中，所述射頻濺射設(shè)備的氣壓為0.7Pa，濺射功率為15w，濺射時(shí)間為30min。

6.如權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于：步驟3）中，所述的反應(yīng)氣體是高純氧氣、氮?dú)庵械囊环N或兩種。