[發明專利]一種具有輔助加熱筒的高頻線圈

無效

• 申請號: 201210576433.2
• 申請日: 2012-12-27
• 公開（公告）號: CN103046122A
• 公開（公告）日: 2013-04-17
• 發明（設計）人: 劉朝軒
• 申請（專利權）人: 洛陽金諾機械工程有限公司
• 主分類號: C30B13/20
• 分類號: C30B13/20;C30B29/06;C30B35/00;C30B15/14;H05B11/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

【技術領域】

本發明涉及人工晶體技術領域，尤其是涉及一種具有輔助加熱筒的高頻線圈。

【背景技術】

目前，硅芯在國內使用量非常巨大；現有的硅芯、單晶硅及其它材料晶體區熔方式生產的工藝過程中，大多使用的是一種單目高頻線圈，其工作原理是：工作時通過給高頻線圈通入高頻電流，使高頻線圈產生電流對原料棒進行感應加熱，加熱后的原料棒上端頭形成融化區，然后將仔晶通過拉制孔后插入原料棒上端的熔化區，然后慢慢提升仔晶，熔化后的原料就會跟隨仔晶上升，形成一個新的柱形晶體，這個新的柱形晶體便是硅芯或其它材料晶體的制成品。

本設計人在線申請了多項發明或實用新型的高頻線圈專利，使用中雖然得到了較好的技術效果，但原料棒的上端升溫較慢，使用時需要等待原料棒的上端形成熔化區“對應高頻線圈上設置的拉制孔的小溶區”，方可進行拉制作業，影響了作業進度。

【發明內容】

為了實現所述發明目的，本發明公開了一種具有輔助加熱筒的高頻線圈，本發明通過在高頻線圈下部設置耐熱性較高的鎢或鉬筒，獲取原料棒上端更快的熱熔效果，有效地增加了原料棒上端的熱熔速度。

為了實現上述發明的目的，本發明采用如下技術方案：

一種具有輔助加熱筒的高頻線圈，包括高頻線圈、冷卻水道、鎢或鉬筒、連接座和地線連接機構，在高頻線圈中部設有拉制孔或化料孔，所述拉制孔或化料孔外部設有多個環繞的拉制孔，由拉制孔或化料孔呈放射狀分布多個引流槽，拉制孔分布在兩兩引流槽的外端之間，所述高頻線圈上部面中部設有向下凹陷面，在高頻線圈的下部面中部設有向上凹陷平面，其中一個引流槽的外端通過開口貫通至高頻線圈的外緣面，冷卻水道環繞高頻線圈的外部，所述高頻線圈外部設有地線連接機構；鎢或鉬筒的上端連接高頻線圈的外部面，在鎢或鉬筒的對應開口處設有間隙，所述鎢或鉬筒的筒內壁下部形成高頻線圈的輔助加熱筒。

所述的具有輔助加熱筒的高頻線圈，高頻線圈上的冷卻水道的兩端設置在開口的兩側并分別設有延伸管路，所述兩延伸管路分別形成水道A端、水道B端，其中水道A端為進水端、水道B端為出水端，在水道A端、水道B端的端部分別設置有連接座。

所述的具有輔助加熱筒的高頻線圈，所述鎢或鉬筒的間隙兩側分別設有“U”形豁口，兩“U”形豁口所述分別套在水道A端、水道B端上。

所述的具有輔助加熱筒的高頻線圈，所述拉制孔為圓形拉制孔；或球拍形拉制孔；或水滴形拉制孔的三種中的任意一種，或所述拉制孔為圓形拉制孔；或球拍形拉制孔；或水滴形拉制孔中的至少兩種的組合；所述球拍形拉制孔的槽或水滴形拉制孔的“V”形豁口朝向拉制孔或化料孔。

所述的具有輔助加熱筒的高頻線圈，所述地線連接機構，在高頻線圈的外緣上部面設有地線連接板；或在高頻線圈的外緣上部面打孔通過螺絲連接地線。

由于采用上述技術方案，本發明具有如下有益效果：

本發明所述的具有輔助加熱筒的高頻線圈，通過在高頻線圈下部設置耐熱性較高的鎢或鉬筒，由鎢或鉬筒對原料棒上端輔助加熱，獲取原料棒上端更快的熱熔效果，有效地增加了原料棒上端的熱熔速度；本發明獲取了更快的硅芯拉制生產速度，易于在多晶硅行業推廣實施。

【附圖說明】

圖1是本發明的結構示意圖。

圖2是圖1的A-A視圖。

圖3是本發明的鎢或鉬筒立體結構示意圖。

在圖中：1、地線連接板；2、水滴形拉制孔；3、高頻線圈；4、鎢或鉬筒；5、拉制孔；6、拉制孔或化料孔；7、引流槽；8、球拍形拉制孔；9、凹陷面；10、開口；11、水道A端；12、水道B端；13、連接座；14、冷卻水道；15、筒內壁；16、“U”形豁口；17、間隙。

【具體實施方式】

參考下面的實施例，可以更詳細地解釋本發明；但是，本發明并不局限于這些實施例。