[發明專利]樣品液體氣化系統、診斷系統及診斷方法

無效

• 申請號: 201210576137.2
• 申請日: 2012-12-26
• 公開（公告）號: CN103185771A
• 公開（公告）日: 2013-07-03
• 發明（設計）人: 林達也;井本良臣
• 申請（專利權）人: 株式會社堀場STEC
• 主分類號: G01N33/00
• 分類號: G01N33/00;C23C16/448;C23C16/52
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 臧建明

技術領域

本發明涉及一種診斷整個樣品液體氣化裝置的異常的系統及其方法，所述樣品液體氣化裝置包括設置于樣品液體氣化裝置內的氣體濃度計等各種傳感器、流量控制器(flow?controller)等流量控制設備在內。

背景技術

作為現有的樣品液體氣化裝置，如專利文獻1所示具有底下構件，其包括：樣品液體槽，儲存樣品液體；氣體導入管，將使該樣品液體氣化的載氣導入至該樣品液體槽的樣品液體；以及氣體導出管，自所述樣品液體槽導出包括樣品液體氣化而成的樣品氣體及載氣的混合氣體。并且，在所述樣品液體氣化裝置中，有時會設置例如超聲波式氣體濃度計等氣體濃度計，以測定流經所述氣體導出管的混合氣體中的樣品氣體濃度。

并且，為了判斷由所述氣體濃度計獲得的測定值是否準確，通過流入濃度已知的基準氣體，對基準氣體的已知濃度與氣體濃度計的測定值進行比較來進行。

然而，為了使基準氣體流入氣體濃度計，必須在樣品液體氣化裝置中設置用于流入基準氣體的配管，從而存在配管空間擴大、成本增大的問題。并且，由于必須在樣品液體氣化裝置中準備用于流入基準氣體的時序(sequence)(處理順序)，因此存在用戶的操作變得復雜的問題。

此外，由于在通過樣品液體氣化裝置產生了樣品氣體的狀態下無法流入基準氣體，所以必須在暫時通過樣品液體氣化裝置使樣品氣體的生成停止之后流入基準氣體。如上所述在停止了樣品氣體的生成的狀態下判斷異常的話，必須空出時間間隔來判斷氣體濃度計的異常，從而存在檢測氣體濃度計的異常發生延遲，在此之前生成的樣品氣體的濃度偏離所需值的問題。

在所述樣品液體氣化裝置中，除了所述氣體濃度計的異常以外，在設置于樣品液體氣化裝置內的溫度計、壓力計等各種傳感器或設置于氣體導入管內的質量流量控制器等流量控制設備發生異常時，也存在樣品氣體的濃度偏離所需值的問題。而且，為了判斷所述各部的異常，必須對各部個別地設定判斷時序。

[現有技術文獻]

[專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2004-149925號公報

發明內容

因此，本發明是為了解決上述問題而開發的，其主要課題在于無需準備基準氣體及流入基準氣體的專用配管以及個別的時序，便可以進行包括氣體濃度計等各部在內的整個系統(裝置)是否異常的判斷。

即，本發明的樣品液體氣化系統的特征在于包括：樣品液體槽，儲存樣品液體，并且使該樣品液體氣化；氣體導出管，將通過所述樣品液體槽氣化而成的氣體導出至所述樣品液體槽的外部；氣體濃度計，測定流經所述氣體導出管的氣體濃度測定值；溫度計，測定所述樣品液體槽內的溫度；壓力計，測定所述樣品液體槽內的壓力；氣體濃度計算部，根據由所述溫度計獲得的溫度及由所述壓力計獲得的壓力，算出所述樣品液體槽內經氣化的氣體濃度計算值；以及狀態判斷部，將由所述氣體濃度計算部算出的氣體濃度計算值以及由所述氣體濃度計獲得的氣體濃度測定值作為參數，判斷樣品液體氣化系統的異常。

如上所述的樣品液體氣化系統，將根據樣品液體槽內的溫度及樣品液體槽內的壓力而算出的氣體濃度計算值以及由氣體濃度計獲得的氣體濃度測定值作為參數，判斷整個樣品液體氣化系統的異常，因此無需另行準備基準氣體、用于流入基準氣體的配管及個別的時序等。而且，在已生成樣品氣體的樣品氣體生成運轉時，也可以判斷包括樣品液體氣化系統是否異常在內的狀態。

根據樣品液體槽內的溫度及樣品液體槽內的壓力而算出的氣體濃度計算值是根據例如因起泡(bubbling)而產生的樣品液體的氣化效率、樣品液體的材料特性、樣品液體槽內的樣品液體的液量等而變動。因此，優選的是，所述狀態判斷部根據所述氣體濃度測定值是否包含于對所述氣體濃度計算值實施規定的運算而獲得的上限值與下限值的范圍內，來判斷樣品液體氣化系統是否異常。

而且，本發明的診斷系統是樣品液體氣化裝置內的氣體濃度計的診斷系統，所述樣品液體氣化裝置包括：樣品液體槽，儲存樣品液體，并且使該樣品液體氣化；氣體導出管，將通過所述樣品液體槽氣化而成的氣體導出至外部；以及氣體濃度計，測定流經所述氣體導出管的氣體濃度測定值；所述診斷系統的特征在于包括：氣體濃度獲取部，獲取氣體濃度計算值，所述氣體濃度計算值是根據由測定所述樣品液體槽內的溫度的溫度計所獲得的溫度及由測定所述樣品液體槽內的壓力的壓力計所獲得的壓力而算出，表示所述樣品液體槽內經氣化的氣體濃度；以及狀態判斷部，將由所述氣體濃度獲取部獲取的氣體濃度計算值以及由所述氣體濃度計獲得的氣體濃度測定值作為參數，判斷所述樣品液體氣化裝置的異常。