[發(fā)明專利]一種等離子處理器及其運(yùn)行方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210575968.8
• 申請(qǐng)日: 2012-12-26
• 公開（公告）號(hào): CN103903947A
• 公開（公告）日: 2014-07-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 萬磊;周旭升;倪圖強(qiáng)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司
• 主分類號(hào): H01J37/32
• 分類號(hào): H01J37/32;H01L21/687
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司 31002
• 代理人: 王潔

1.一種等離子處理器，包括：

一個(gè)反應(yīng)腔，反應(yīng)腔內(nèi)包括一個(gè)基座，基座上方包括一個(gè)靜電夾盤，待處理基片放置在靜電夾盤上，所述基座內(nèi)還包括一個(gè)冷卻氣體供應(yīng)管道向基片下表面供應(yīng)冷卻氣體。

基座下部包括一個(gè)氣缸，氣缸內(nèi)包括一個(gè)活塞，所述活塞連接到所述多個(gè)舉升管腳，所述舉升管腳與基座上方的靜電夾盤內(nèi)的多個(gè)舉升孔位置對(duì)應(yīng)，其特征在于：所述氣缸連接到一個(gè)供氣系統(tǒng)，所述供氣系統(tǒng)提供高壓和低壓兩種氣壓的氣體到氣缸，在供氣系統(tǒng)提供低壓氣體到氣缸時(shí)舉升管腳頂端具有第一高度位置；供氣系統(tǒng)提供高壓氣體到氣缸時(shí)舉升管腳頂端具有第二高度位置，其中所述舉升管腳電連接到接地端。

2.如權(quán)利要求1所述的等離子處理器，其特征在于：所述供氣系統(tǒng)包括一個(gè)氣源提供穩(wěn)定的高壓氣體和一個(gè)氣壓調(diào)節(jié)器從輸入端接收來著氣源的高壓氣體并在輸出端輸出穩(wěn)定的低壓氣體，還包括一個(gè)旁路開關(guān)連接在所述氣壓調(diào)節(jié)器的輸入端和輸出端。

3.如權(quán)利要求2所述的等離子處理器，其特征在于：所述供氣系統(tǒng)中氣壓調(diào)節(jié)器輸入端與氣源之間還串聯(lián)有一個(gè)閥門。

4.如權(quán)利要求1所述的等離子處理器，其特征在于：所述舉升管腳上固定有一個(gè)位置標(biāo)識(shí)裝置。

5.如權(quán)利要求4所述的等離子處理器，其特征在于：所述等離子處理器還包括一個(gè)位置識(shí)別裝置，與所述位置標(biāo)識(shí)裝置對(duì)應(yīng)并讀取位置信息。

6.如權(quán)利要求1所述的等離子處理器，其特征在于：所述舉升管腳上固定有一個(gè)限位器，基座中還固定有一個(gè)可移動(dòng)擋板在管腳上升過程中，能選擇性的阻擋或釋放所述限位器。

7.如權(quán)利要求1所述的等離子處理器，其特征在于：所述氣缸包括一個(gè)活塞分隔氣缸內(nèi)部空間為上部空間和下部空間，下部空間通過一個(gè)第一氣體進(jìn)出口連接到所述供氣系統(tǒng)，并輸入所述高壓氣體或低壓氣體；上部空間通過第二氣體進(jìn)出口將氣體排出上部空間，所述活塞連接到所述舉升管腳帶動(dòng)所述舉升管腳上升或下降。

8.一種等離子處理器的運(yùn)行方法，所述等離子處理器包括：一個(gè)反應(yīng)腔，反應(yīng)腔內(nèi)包括一個(gè)基座，基座上方包括一個(gè)靜電夾盤，待處理基片放置在靜電夾盤上，所述基座內(nèi)還包括一個(gè)冷卻氣體供應(yīng)管道向基片下表面供應(yīng)冷卻氣體，所述基座還包括一個(gè)氣缸，接受來自氣體供應(yīng)系統(tǒng)的氣體驅(qū)動(dòng)多個(gè)舉升管腳上下移動(dòng)，所述處理方法包括步驟：

提供處理氣體進(jìn)入等離子處理器，電燃等離子體對(duì)基片進(jìn)行處理；

熄滅等離子體；

氣體供應(yīng)系統(tǒng)提供低壓氣體到氣缸，使處于電接地狀態(tài)的舉升管腳上升并接觸基片背面；

舉升管腳抬升基片到第一高度時(shí)氣體供應(yīng)系統(tǒng)提供高壓氣體到氣缸使舉升管腳上升到第二高度；

移除基片。

9.如權(quán)利要求8所述的一種等離子處理器運(yùn)行方法，其特征在于：還包括步驟在舉升管腳抬升所述基片前，抽出冷卻氣體管道內(nèi)的冷卻氣體。

10.如權(quán)利要求8所述的一種等離子處理器運(yùn)行方法，其特征在于：所述舉升管腳接觸基片背面到基片抬升到第一高度需要1-3秒。

11.如權(quán)利要求8所述的一種等離子處理器運(yùn)行方法，其特征在于：所述第一高度小于等于1mm，第二高度大于10mm小于15mm。

12.如權(quán)利要求8所述的一種等離子反應(yīng)器的運(yùn)行方法，其特征在于：所述低壓氣體具有10-35PSI的氣壓，所述高壓氣體具有40-120PSI的氣壓。