[發明專利]清洗液及其用途無效
| 申請號： | 201210575538.6 | 申請日： | 2005-07-21 |
| 公開（公告）號： | CN103060831A | 公開（公告）日： | 2013-04-24 |
| 發明（設計）人： | 荊建芬;王雨春;張建;蔡鑫元 | 申請（專利權）人： | 安集微電子（上海）有限公司 |
| 主分類號： | C23G5/032 | 分類號： | C23G5/032;C23G5/036;C11D7/26;H01L21/02 |
| 代理公司： | 上海翰鴻律師事務所 31246 | 代理人： | 李佳銘 |
| 地址： | 201203 上海市浦東新區張*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 清洗 及其 用途 | ||
1.一種金屬防腐抑制劑在清洗金屬襯底中的用途，其特征在于，所述金屬防腐抑制劑為多聚羧酸和/或其鹽。
2.如權利要求1所述的用途，其特征在于，所述的多聚羧酸為聚丙烯酸類化合物，或者為丙烯酸類化合物與苯乙烯的共聚化合物，或者為丙烯酸類化合物與順丁烯二酸酐的共聚化合物，或者為丙烯酸類化合物與丙烯酸酯類的共聚化合物，它們分子量在2,000～3,000,000之間。
3.根據權利要求1所述的用途，其特征在于，所述的多聚羧酸和/或其鹽為式Ⅰ化合物：
式Ⅰ
其中，R1、R2獨自地為氫原子或碳原子數小于3的烷基，R3為H、K、Na或NH4。
4.根據權利要求3所述的用途，其特征在于，所述的聚丙烯酸類化合物為聚丙烯酸，其分子量為10,000～30,000。
5.根據權利要求1所述的用途，其特征在于，所述的金屬襯底為鋁、銅、鉭、氮化鉭、鈦、氮化鈦、銀或金。
6.一種清洗液在金屬襯底中的用途，其特征在于，所述清洗液包括至少一種載體及金屬防腐蝕抑制劑。
7.根據權利要求6所述的用途，所述金屬防腐抑制劑為多聚羧酸和/或其鹽。
8.如權利要求7所述的用途，其特征在于，所述的多聚羧酸為聚丙烯酸類化合物，或者為丙烯酸類化合物與苯乙烯的共聚化合物，或者為丙烯酸類化合物與順丁烯二酸酐的共聚化合物，或者為丙烯酸類化合物與丙烯酸酯類的共聚化合物，它們分子量在2,000～3,000,000之間。
9.根據權利要求7所述的用途，其特征在于，所述的多聚羧酸和/或其鹽為式Ⅰ化合物：
式Ⅰ
其中，R1、R2獨自地為氫原子或碳原子數小于3的烷基，R3為H、K、Na或NH4。
10.根據權利要求9所述的用途，其特征在于，所述的聚丙烯酸類化合物為聚丙烯酸，其分子量為10,000～30,000。
11.根據權利要求6所述的用途，其特征在于，還包括pH調節劑。
12.根據權利要求6或11所述的用途，其特征在于還包括含氮雜環化合物。
13.根據權利要求12所述的用途，其特征在于，所述清洗液中的含氮雜環化合物為苯并三唑、吡唑和/或咪唑。
14.根據權利要求6所述的用途，其特征在于，所述清洗液中的載體為醇類和/或水。
15.根據權利要求6所述的用途，其特征在于，該金屬防腐抑制劑的質量濃度為0.0001～20%，該載體為余量。
16.如權利要求6所述的用途，其特征在于，所述的清洗液pH值小于7。
17.如權利要求6所述的用途，其特征在于，所述的金屬襯底為鋁、銅、鉭、氮化鉭、鈦、氮化鈦、銀或金。
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