[發明專利]一種金屬材料小尖端曲率半徑納米針尖的制備方法無效
| 申請號： | 201210575413.3 | 申請日： | 2012-12-26 |
| 公開（公告）號： | CN103011071A | 公開（公告）日： | 2013-04-03 |
| 發明（設計）人： | 萬能;徐濤;梅森;艾博;孫俊;孫立濤 | 申請（專利權）人： | 東南大學 |
| 主分類號： | B82B3/00 | 分類號： | B82B3/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 211189 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 金屬材料 尖端 曲率 半徑 納米 針尖 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種金屬材料小尖端曲率半徑納米針尖的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
1）、使用陽極電化學腐蝕的方法制備模板針尖，所述模板針尖為小尖端曲率半徑針尖；
2）、將步驟1）的模板針尖用去離子水清洗去除模板針尖表面的殘留腐蝕液，晾干；
3）、將步驟2）得到的模板針尖固定在薄膜制備設備的襯底一側，使模板針尖的尖端的朝向與蒸發源或濺射源的擴散方向相對；
4）、啟動薄膜制備設備在模板針尖的表面進行金屬材料的淀積，在模板針尖的表面得到一層金屬層；
5）、金屬材料淀積結束，得到制備好的金屬針尖。
2.如權利要求1所述的金屬材料小尖端曲率半徑納米針尖的制備方法，其特征在于，所述模板針尖的材料為鋁、銅或鎢。
3.如權利要求1所述的金屬材料小尖端曲率半徑納米針尖的制備方法，其特征在于，步驟4）中所述金屬層的厚度為5-20納米。
4.如權利要求1所述的金屬材料小尖端曲率半徑納米針尖的制備方法，其特征在于，所述薄膜制備設備為蒸發儀、濺射儀、分子束外延設備或者原子層沉積設備。
5.如權利要求1所述的金屬材料小尖端曲率半徑納米針尖的制備方法，其特征在于，所述金屬材料為金、鉑、鈀、銀、鈷或鐵。
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