[發明專利]溫差電致冷組件表面三防膜的固封方法

在審

• 申請號: 201210575244.3
• 申請日: 2012-12-24
• 公開（公告）號: CN103031539A
• 公開（公告）日: 2013-04-10
• 發明（設計）人: 安曉雨;馬洪奎;梁亮
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第十八研究所
• 主分類號: C23C16/448
• 分類號: C23C16/448;C23C16/52
• 代理公司: 天津市鼎和專利商標代理有限公司 12101
• 代理人: 李鳳

1.溫差電致冷組件表面三防膜的固封方法，包括對清洗后的溫差電致冷組件進行表面三防膜的固封，其特征在于：所述三防膜的固封包括以下步驟：

⑴對溫差電致冷組件的引線焊點密封粘結膠帶，將塑料套管熱縮在膠帶上；

⑵將步驟⑴完成的溫差電致冷組件懸掛在沉積裝置的沉積室中，所述沉積裝置包括控制系統、蒸發室、裂解室、沉積室和真空系統；

⑶將聚對二甲苯置于沉積裝置的蒸發室中后，由真空系統對蒸發室、裂解室和沉積室均抽真空至10^-2-10^-3Pa，將蒸發室的溫度控制為150-200℃、裂解室溫度控制為650-700℃，蒸發室中的聚對二甲苯形成氣態聚對二甲苯進入裂解室，在裂解室中裂解為活性單體，活性單體進入室溫的沉積室中在懸掛的溫差電致冷組件表面沉積1-5h，溫差電致冷組件表面形成0.1-100微米厚的聚對二甲苯膜作為三防膜；

⑷沉積裝置的蒸發室、裂解室和沉積室中充入惰性氣體，沉積裝置內外壓力相當時，取出溫差電致冷組件，去掉引線焊點上的塑料套管和膠帶，完成本發明溫差電致冷組件表面三防膜的固封過程。

2.根據權利要求1所述溫差電致冷組件表面三防膜的固封方法，其特征在于：所述膠帶為聚銑亞胺膠帶。

3.根據權利要求1所述溫差電致冷組件表面三防膜的固封方法，其特征在于：所述沉積裝置為氣相沉積系統。

4.根據權利要求1所述溫差電致冷組件表面三防膜的固封方法，其特征在于：所述步驟⑶中聚對二甲苯高溫裂解成的活性單體直徑為10^-2-5微米。

5.根據權利要求1所述溫差電致冷組件表面三防膜的固封方法，其特征在于：所述沉積室中懸掛溫差電致冷組件的掛架為360°水平旋轉。

6.根據權利要求1所述溫差電致冷組件表面三防膜的固封方法，其特征在于：所述惰性氣體為氬氣。