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[發(fā)明專利]雙層氣浮正交解耦與柔性膜角度解耦的電磁阻尼隔振器有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201210575210.4 申請日: 2012-12-19
公開(公告)號: CN103047354A 公開(公告)日: 2013-04-17
發(fā)明(設計)人: 譚久彬;崔俊寧;王雷 申請(專利權)人: 哈爾濱工業(yè)大學
主分類號: F16F15/027 分類號: F16F15/027;F16F15/03
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 150001 黑龍*** 國省代碼: 黑龍江;23
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摘要:
搜索關鍵詞: 雙層 正交 柔性 角度 電磁 阻尼 隔振器
【權利要求書】:

1.一種雙層氣浮正交解耦與柔性膜角度解耦的電磁阻尼隔振器,由上安裝板(1)、下安裝板(2)、潔凈壓縮氣源(3)、氣管(26)和隔振器主體(4)組成,隔振器主體(4)安裝在上安裝板(1)與下安裝板(2)之間,潔凈壓縮氣源(3)通過氣管(26)與隔振器主體(4)連接,其特征在于:所述隔振器主體(4)的結構中,套筒(6)的下表面與氣浮板(34)通過軸向承載平面氣浮面(21)潤滑與支撐,柔性膜(5)安裝在套筒(6)的上端,并通過壓圈(22)壓緊與密封,壓板裝配體(7)的上壓板(7a)與下壓板(7b)相對配裝在柔性膜(5)的上、下表面,并夾緊柔性膜(5),上壓板(7a)的上表面與上安裝板(1)剛性連接,X向氣浮導軌(29)的下表面與氣浮板(34)剛性連接,套筒(6)與X向氣浮導軌(29)通過X向導軌氣浮面(31)潤滑與導向,Y向氣浮導軌(30)的下表面與下安裝板(2)剛性連接,氣浮板(34)與下安裝板(2)通過Z向承載氣浮面(33)潤滑與支撐,氣浮板(34)與Y向氣浮導軌(30)通過Y向導軌氣浮面(32)潤滑與導向;Z向音圈電機(10)、Z向位移傳感器(13)與Z向限位開關(16)安裝在壓板裝配體(7)與套筒(6)之間,X向音圈電機(8)、X向位移傳感器(11)、X向限位開關(14)安裝在套筒(6)與氣浮板(34)之間,Y向音圈電機(9)、Y向位移傳感器(12)、Y向限位開關(15)安裝在氣浮板(34)與下安裝板(2)之間;Z向音圈電機(10)的驅動力方向為豎直方向,X向音圈電機(8)與Y向音圈電機(9)的驅動力方向在水平面內且相互垂直,X、Y、Z向位移傳感器(11、12、13)和X、Y、Z向限位開關(14、15、16)的作用線方向與X、Y、Z向音圈電機(8、9、10)的驅動力方向一致;X、Y、Z向位移傳感器(11、12、13)和X、Y、Z向限位開關(14、15、16)分別與控制器(19)的信號輸入端連接,控制器(19)的信號輸出端與驅動器(20)的信號輸入端連接,驅動器(20)的信號輸出端分別與X、Y、Z向音圈電機(8、9、10)連接;在氣浮板(34)上表面?zhèn)缺谘豖向音圈電機(8)驅動力方向安裝X向永磁體(40A)構成X向電磁阻尼器(40),在氣浮板(34)上表面?zhèn)缺谘豗向音圈電機(9)驅動力方向安裝Y向永磁體(41A)構成Y向電磁阻尼器(41),X、Y向永磁體(40A、41A)的磁極方向垂直于氣浮板(34)的上表面,且N、S極交替布置,氣浮板(34)采用鐵磁材料,套筒(6)采用不導磁的良導體材料。

2.根據(jù)權利要求1所述的雙層氣浮正交解耦與柔性膜角度解耦的電磁阻尼隔振器,其特征在于:所述套筒(6)內設有氣體壓力傳感器(17),套筒(6)上設有進氣口(23)和電磁閥(18),氣體壓力傳感器(17)與控制器(19)的信號輸入端連接,控制器(19)的信號輸出端與驅動器(20)的信號輸入端連接,驅動器(20)的信號輸出端與電磁閥(18)連接。

3.根據(jù)權利要求1所述的雙層氣浮正交解耦與柔性膜角度解耦的電磁阻尼隔振器,其特征在于:所述X、Y、Z向音圈電機(8、9、10)為圓筒型音圈電機或平板型音圈電機。

4.根據(jù)權利要求1所述的雙層氣浮正交解耦與柔性膜角度解耦的電磁阻尼隔振器,其特征在于:所述X向氣浮導軌(29)和Y向氣浮導軌(30)為單導軌結構或雙導軌結構。

5.根據(jù)權利要求1所述的雙層氣浮正交解耦與柔性膜角度解耦的電磁阻尼隔振器,其特征在于:所述X、Y、Z向位移傳感器(11、12、13)為光柵尺、磁柵尺、容柵尺或直線式電位器。

6.根據(jù)權利要求1所述的雙層氣浮正交解耦與柔性膜角度解耦的電磁阻尼隔振器,其特征在于:所述X、Y、Z向限位開關(14、15、16)為機械式限位開關、霍爾式限位開關或光電式限位開關。

7.根據(jù)權利要求1所述的雙層氣浮正交解耦與柔性膜角度解耦的電磁阻尼隔振器,其特征在于:所述柔性膜(5)為橡膠膜。

8.根據(jù)權利要求1所述的雙層氣浮正交解耦與柔性膜角度解耦的電磁阻尼隔振器,其特征在于:所述套筒(6)內氣體壓力為0.1MPa~0.8MPa。

9.根據(jù)權利要求1所述的雙層氣浮正交解耦與柔性膜角度解耦的電磁阻尼隔振器,其特征在于:所述軸向承載平面氣浮面(21)、X向導軌氣浮面(31)、Y向導軌氣浮面(32)和Z向承載氣浮面(33)的氣膜厚度為10μm~20μm。

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