[發(fā)明專利]傳送系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210574403.8
• 申請日: 2012-12-26
• 公開（公告）號: CN103227132A
• 公開（公告）日: 2013-07-31
• 發(fā)明（設計）人: 古市昌稔;木村吉希;松尾智弘;草間義裕
• 申請（專利權）人: 株式會社安川電機
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 黨曉林;王小東

技術領域

本說明書所討論的實施方式涉及一種傳送系統(tǒng)。

背景技術

已廣泛公知的是用于傳送薄片狀工件（以下稱作“晶片”）的傳送機器人，所述薄片狀工件例如是半導體晶片和液晶面板等。還已知的是在晶片的容器和晶片的加工室之間設置的本地凈化室（以下稱作“傳送室”）中設置有該傳送機器人的傳送系統(tǒng)。

如上述的容器和加工室等的區(qū)域（以下稱作“中轉位置”）通常被設置在這樣的位置，即：使得傳送機器人的旋轉軸并不位于訪問該中轉位置的機器人手的軌跡延長線上，也就是說設置在偏移位置（參見日本專利申請?zhí)亻_2008-28134號公報）。

傳統(tǒng)的傳送系統(tǒng)有進一步改進的空間，以提高傳送晶片過程的吞吐量。特別地，如果所有的中轉位置都設置在如上所述的偏移位置，那么傳送機器人的臂部姿勢的變化會更大，從而導致傳送過程中吞吐量的降低。

鑒于上述缺點，本文中所公開的技術的一個目的是提供一種能夠提高吞吐量的傳送系統(tǒng)。

發(fā)明內容

根據(jù)一個實施方式的傳送系統(tǒng)包括機器人和控制器。所述控制器包括切換單元。所述機器人包括臂單元和底座單元，所述臂單元由以可旋轉的方式彼此連接的手和多個臂形成。后端側的臂以可圍繞一旋轉軸旋轉的方式連接至所述底座單元，并且所述手以可旋轉的方式連接至前端側的臂。所述切換單元切換圓柱坐標控制和直角坐標控制，所述圓柱坐標控制用于控制所述臂單元，以使得所述手的軌跡與從所述旋轉軸放射出的線中的任何一條線重疊，并且所述直角坐標控制用于控制所述臂單元，以使得所述手的軌跡在預定的時刻與這些線都不重疊。

根據(jù)一個實施方式的一個方面，能夠提高吞吐量。

附圖說明

通過參考下面結合附圖的詳細描述，將易于更全面以及更好地理解本發(fā)明以及本發(fā)明所具有的多種優(yōu)點，附圖中：

圖1是根據(jù)一個實施方式的傳送室的俯視圖；

圖2是根據(jù)本實施方式的傳送機器人的示意性立體圖；

圖3是用于說明傳送機器人的基準姿勢的視圖；

圖4A是用于說明傳送機器人的軌跡的第一視圖；

圖4B是用于說明傳送機器人的軌跡的第二視圖；

圖4C是用于說明傳送機器人的軌跡的第三視圖；

圖4D是用于說明傳送機器人的軌跡的第四視圖；

圖5是用于說明傳送機器人的偏移位置的視圖；

圖6A是用于說明傳送機器人的軌跡的第五視圖；

圖6B是用于說明傳送機器人的軌跡的第六視圖；

圖6C是用于說明傳送機器人的軌跡的第七視圖；

圖7A是用于說明傳送機器人的軌跡的第八視圖；

圖7B是用于說明傳送機器人軌跡的第九視圖；

圖7C是用于說明傳送機器人的軌跡的第十視圖；

圖8是姿勢選擇過程的過程流程圖；

圖9是用于說明中轉位置的視圖；

圖10是根據(jù)一種變型例的傳送室的俯視圖。

具體實施方式

參照附圖，下面更詳細地描述本申請公開的傳送系統(tǒng)的示例性實施方式。需要注意的是，下面的實施方式并不是為了限制本發(fā)明。

將參照圖1來描述根據(jù)一個實施方式的傳送系統(tǒng)。圖1是根據(jù)本實施方式的傳送室2的俯視圖。圖1中，為了方便說明，部分形狀被簡化。

如圖1所示，開閉裝置5以與傳送室2平行的方式布置，傳送室2是諸如半導體晶片和液晶面板等的薄片狀工件（以下稱作“晶片4”）被送入和送出的中轉位置。而且，傳送機器人10布置在傳送室2中。

傳送室2是一個被稱作設備前端模塊(EFEM)的凈化室。傳送室2在上部設置有用于凈化氣體的過濾器（未示出）。被過濾器凈化后的向下流動的清凈氣流使得殼體內部被局部凈化。

開閉裝置5打開和關閉設置在容器3上的蓋子，并且開閉裝置5設置在傳送室2的側壁的開口處。開閉裝置5例如被稱作裝載口或FOUP開啟器，并且通常是一個符合國際半導體設備和材料(SEMI)標準的裝置。

例如，容器3是盒狀容器，該盒狀容器內能夠沿高度方向以多級方式儲存多個晶片4，并且容器3是一種在SEMI標準中規(guī)定的被稱作前開口通用容器（FOUP）的裝置。

容器3在開閉裝置5上放置成使得容器3的蓋子朝向傳送室2。設置到開閉裝置5的可移動體一邊保持住蓋子一邊以滑動方式在傳送室2中下降，從而打開蓋子。每個容器3中以虛線表示的圓形代表用于晶片4的儲存空間。

傳送機器人10能夠保持作為被傳送物體的晶片4。具體而言，傳送機器人10包括底座單元11和臂單元20。