[發(fā)明專利]一種六自由度磁浮微動臺

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210574185.8
• 申請日: 2012-12-19
• 公開（公告）號: CN103048891A
• 公開（公告）日: 2013-04-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 譚久彬;楊遠(yuǎn)源;王雷
• 申請（專利權(quán)）人: 哈爾濱工業(yè)大學(xué)
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種六自由度磁浮微動臺，其特征在于該裝置包括微動臺本體(1)和激光干涉測量系統(tǒng)(2)，所述的微動臺本體(1)由載物臺(1-1)、基座(1-2)、電機(jī)安裝架(1-3)、電容位移傳感器(1-4)和六自由度驅(qū)動電機(jī)(1-5)構(gòu)成，其中六自由度驅(qū)動電機(jī)(1-5)包括電機(jī)動子(1-5-1)和電機(jī)定子(1-5-2)，且載物臺(1-1)固裝在電機(jī)動子(1-5-1)上，電機(jī)定子(1-5-2)通過電機(jī)安裝架(1-3)固裝在基座(1-2)上，電容位移傳感器(1-4)配置在載物臺(1-1)和基座(1-2)之間；所述的電機(jī)動子(1-5-1)包括由磁鋼安裝架上板(1-5-1-1)、磁鋼安裝架下板(1-5-1-2)、立柱(1-5-1-3)、支撐塊(1-5-1-4)、水平運(yùn)動磁鋼(1-5-3)以及垂向運(yùn)動磁鋼(1-5-4)，其中磁鋼安裝架上板(1-5-1-1)和磁鋼安裝架下板(1-5-1-2)通過位于二者之間的立柱(1-5-1-3)和支撐塊(1-5-1-4)固裝在一起，水平運(yùn)動磁鋼(1-5-3)和垂向運(yùn)動磁鋼(1-5-4)呈等邊三角形狀均布配裝在磁鋼安裝架上板(1-5-1-1)底面和磁鋼安裝架下板(1-5-1-2)頂面對應(yīng)位置上；所述的電機(jī)定子(1-5-2)包括線圈盒上板(1-5-2-1)、線圈盒下板(1-5-2-2)、水平運(yùn)動線圈(1-5-5)以及由在垂向運(yùn)動定子磁鋼(1-5-6-2)頂面和底面上配裝的垂向運(yùn)動定子線圈(1-5-6-1)構(gòu)成的垂向運(yùn)動定子(1-5-6)，其中水平運(yùn)動線圈(1-5-5)和垂向運(yùn)動定子(1-5-6)呈等邊三角形均勻配裝在線圈盒下板(1-5-2-2)的對應(yīng)空腔內(nèi)，由線圈盒上板(1-5-2-1)覆蓋密封；六自由度驅(qū)動電機(jī)(1-5)位于初始狀態(tài)時(shí)，水平運(yùn)動線圈(1-5-5)位于上下兩側(cè)對稱的水平運(yùn)動磁鋼(1-5-3)中心位置，且水平運(yùn)動線圈(1-5-5)左、右部分分別位于磁場方向相反的水平運(yùn)動磁鋼(1-5-3)左、右部分中心，垂向運(yùn)動定子(1-5-6)處于上下兩側(cè)對稱垂向運(yùn)動磁鋼(1-5-4)中心位置，且垂向運(yùn)動定子(1-5-6)和垂向運(yùn)動磁鋼(1-5-4)的軸線重合，上下兩側(cè)垂向運(yùn)動磁鋼(1-5-4)的磁極方向相同，并與垂向運(yùn)動定子磁鋼(1-5-6-2)的磁極方向相反，配置在垂向運(yùn)動定子磁鋼(1-5-6-2)頂面和底面上的垂向運(yùn)動定子線圈(1-5-6-1)電流方向相反；所述的激光干涉測量系統(tǒng)(2)包括雙頻激光器(2-1)、1/2分光棱鏡(2-2)、反射棱鏡A(2-3)、反射棱鏡B(2-4)、X向位移干涉測量光路(2-5)、Y向位移干涉測量光路(2-6)和L型反射鏡(2-7)，所述的1/2分光棱鏡(2-2)布置在雙頻激光器(2-1)出射光路上，X向位移干涉測量光路(2-5)布置在1/2分光棱鏡(2-2)透射光路上，反射棱鏡A(2-3)布置在1/2分光棱鏡(2-2)反射光路上，反射棱鏡B(2-4)布置在反射棱鏡A(2-3)的反射光路上，Y向位移干涉測量光路(2-6)布置在反射棱鏡B(2-4)的反射光路上，L型反射鏡(2-7)配裝在載物臺(1-1)上，其兩個(gè)相互垂直的反射面分別與X向位移干涉測量光路(2-5)和Y向位移干涉測量光路(2-6)的出射光路垂直；所述的X向位移干涉測量光路(2-5)包括偏振分光鏡A(2-5-1)、角錐棱鏡A(2-5-2)、角錐棱鏡B(2-5-3)、1/4玻片A(2-5-4)和接收器A(2-5-5)，其中偏振分光鏡A(2-5-1)位于1/2分光棱鏡(2-2)透射光路上，1/4玻片A(2-5-4)布置在偏振分光鏡A(2-5-1)的透射光路上，且位于偏振分光鏡A(2-5-1)與L型反射鏡(2-7)X向反射面之間，角錐棱鏡A(2-5-2)和角錐棱鏡B(2-5-3)對稱布置在偏振分光鏡A(2-5-1)的雙向反射光路上，接收器A(2-5-5)布置在偏振分光鏡A(2-5-1)的反向透射光路上；Y向位移干涉測量光路(2-6)包括偏振分光鏡B(2-6-1)、角錐棱鏡C(2-6-2)、角錐棱鏡D(2-6-3)、1/4玻片B(2-6-4)和接收器B(2-6-5)，其中偏振分光鏡B(2-6-1)位于反射棱鏡B(2-4)反射光路上，1/4玻片B(2-6-4)布置在偏振分光鏡B(2-6-1)的透射光路上，處于偏振分光鏡A(2-6-1)與L型反射鏡(2-7)Y向反射面之間，角錐棱鏡C(2-6-2)和角錐棱鏡D(2-6-3)對稱布置在偏振分光鏡B(2-6-1)的雙向反射光路上，接收器B(2-5-5)布置在偏振分光鏡B(2-6-1)的反向透射光路上。