[發明專利]一種用于電子輻照加速器的真空抽氣裝置無效
| 申請號： | 201210573449.8 | 申請日： | 2012-12-26 |
| 公開（公告）號： | CN103079333A | 公開（公告）日： | 2013-05-01 |
| 發明（設計）人： | 朱錦華 | 申請（專利權）人： | 江蘇達勝加速器制造有限公司 |
| 主分類號： | H05H7/14 | 分類號： | H05H7/14 |
| 代理公司： | 南京縱橫知識產權代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 215214 江蘇省蘇州*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 電子 輻照 加速器 真空 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于電子輻照加速器的真空抽氣裝置，包括四通（1），其特征在于：所述四通（1）的一端連接有分子泵（2），所述分子泵（2）與前級泵（3）相連接，所述四通（1）的另一端還連接有離子泵（4）。
2.根據權利要求1所述的一種用于電子輻照加速器的真空抽氣裝置，其特征在于：所述分子泵（2）與四通（1）之間設置有插板閥（5）。
3.根據權利要求1或2所述的一種用于電子輻照加速器的真空抽氣裝置，其特征在于：所述分子泵（2）與前級泵（3）之間還設置有檢漏閥門（6）。
4.根據權利要求3所述的一種用于電子輻照加速器的真空抽氣裝置，其特征在于：所述分子泵（2）為FB450型渦輪分子泵。
5.根據權利要求4所述的一種用于電子輻照加速器的真空抽氣裝置，其特征在于：所述離子泵（4）為L400型濺射型離子泵。
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