[發明專利]球端面錐形透鏡的面形測量方法

無效

• 申請號: 201210572914.6
• 申請日: 2012-12-26
• 公開（公告）號: CN103063158A
• 公開（公告）日: 2013-04-24
• 發明（設計）人: 張善華;袁喬;曾愛軍;黃惠杰
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海光學精密機械研究所
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 張澤純

1.一種球端面錐形透鏡的面形測量方法，其特征在于，該方法包括以下步驟：

①根據待測球端面錐形透鏡（4）的錐面制作與之匹配的凹面錐形反射鏡（5）：該凹面錐形反射鏡（5）的錐角式中β＝arcsin(n₁sinθ)-θ表示待測球端面錐形透鏡（4）的錐面對光束的折射角，其中n₁，θ分別為待測球端面錐形透鏡（4）的折射率和錐角；

②根據待測球端面錐形透鏡（4）的球端面制作與之匹配的補償鏡（3）；該補償鏡（3）使得平行光通過該補償鏡（3）和球端面錐形透鏡（4）的球端面后仍為平行光；

③在移相干涉儀（1）輸出的平行光束方向依次置入平面標準鏡（2）、所述的補償鏡（3）、待測球端面錐形透鏡（4）和所述的凹面錐形反射鏡（5），所述的待測球端面錐形透鏡（4）的球端面朝向移相干涉儀（1）的出光方向，所述的凹面錐形反射鏡（5）的凹面朝向移相干涉儀（1）的出光方向；

④調整光路：調整所述的平面標準鏡（2）的平行平面與所述的平行光束垂直；調整所述的補償鏡（3）的中軸與移相干涉儀（1）出射光束的中軸重合；調整所述的待測球端面錐形透鏡（4）的中軸與所述的補償鏡（3）的中軸重合；調整所述的凹面錐形反射鏡（5），使所述的凹面錐形反射鏡（5）的中軸與待測球端面錐形透鏡（4）的中軸重合；

⑤所述的移相干涉儀（1）出射的光束透過所述的平面標準鏡（2）形成平行的測量光束，該測量光束經所述的平面標準鏡（2）返回的光束稱為參考光束；所述的測量光束經過所述的補償鏡（3）入射到所述的待測球端面錐形透鏡（4）的球端面后成為平行光，球端面錐形透鏡（4）的出射光束入射到所述的凹面錐形反射鏡（5）上，反射后沿原路返回并與平面標準鏡（2）返回的參考光束產生干涉；

⑥調整待測球端面錐形透鏡（4）和凹面錐形反射鏡（5）之間的距離獲得清晰的干涉條紋，利用所述的移相干涉儀（1）檢測所述的干涉條紋，得到待測球端面錐形透鏡（4）的面形。