[發(fā)明專利]基于磁浮零位基準(zhǔn)和激光自準(zhǔn)直測(cè)量的磁浮隔振平臺(tái)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210572838.9
• 申請(qǐng)日: 2012-12-19
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103062585A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-04-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王雷;譚久彬;趙勃;崔俊寧
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 哈爾濱工業(yè)大學(xué)
• 主分類號(hào): F16M11/04
• 分類號(hào): F16M11/04;F16M11/18;F16F15/03;F16F15/02
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.基于磁浮零位基準(zhǔn)和激光自準(zhǔn)直測(cè)量的磁浮隔振平臺(tái)，其特征在于磁浮隔振平臺(tái)臺(tái)體(6)配置在3個(gè)或3個(gè)以上均勻分布的隔振器(4)上，隔振器(4)配置在基座(5)上，所述隔振器(4)由隔振器基座(4a)、隔振器支架(4b)和隔振器工作臺(tái)(4c)構(gòu)成，隔振器工作臺(tái)(4c)安裝在隔振器基座(4a)內(nèi)，隔振器支架(4b)配置在隔振器基座(4a)外側(cè)部上，在各個(gè)隔振器(4)與磁浮隔振平臺(tái)臺(tái)體(6)之間配置垂向位移執(zhí)行器(8)和水平位移執(zhí)行器(9)，所述的垂向位移執(zhí)行器(8)采用垂向放置的旋轉(zhuǎn)型音圈電機(jī)，垂向位移執(zhí)行器(8)的旋轉(zhuǎn)型音圈電機(jī)動(dòng)子(8a)與磁浮隔振平臺(tái)臺(tái)體(6)固連，垂向位移執(zhí)行器(8)的旋轉(zhuǎn)型音圈電機(jī)定子(8b)配置在隔振器支座(4b)上，所述的水平位移執(zhí)行器(9)采用水平放置的旋轉(zhuǎn)型音圈電機(jī)，水平位移執(zhí)行器(9)的旋轉(zhuǎn)型音圈電機(jī)動(dòng)子(9a)與磁浮隔振平臺(tái)臺(tái)體(6)固連，水平位移執(zhí)行器(9)的旋轉(zhuǎn)型音圈電機(jī)定子(9b)配置在隔振器支座(4b)上；測(cè)量磁浮隔振平臺(tái)臺(tái)體(6)六自由度姿態(tài)的激光位置測(cè)量光路由He-Ne激光器(1)、激光自準(zhǔn)直系統(tǒng)(2)、零位基準(zhǔn)裝置(3)、臺(tái)體姿態(tài)光電檢測(cè)器(7)、臺(tái)體姿態(tài)分光棱鏡(10)構(gòu)成，其中臺(tái)體姿態(tài)光電檢測(cè)器(7)、臺(tái)體姿態(tài)分光棱鏡(10)固裝在磁浮隔振平臺(tái)臺(tái)體(6)下側(cè)部上，所述的臺(tái)體姿態(tài)分光棱鏡(10)包括第一分光棱鏡(10a)、第二分光棱鏡(10b)、第三分光棱鏡(10c)和第四分光棱鏡(10d)，且第一分光棱鏡(10a)位于激光自準(zhǔn)直系統(tǒng)(2)的后側(cè)透射激光光路上，第二分光棱鏡(10b)和第三分光棱鏡(10c)分別位于第一分光棱鏡(10a)的透射和反射光路上，第四分光棱鏡(10d)位于第三分光棱鏡(10c)的反射光路上；所述的臺(tái)體姿態(tài)光電檢測(cè)器(7)包括第一光電檢測(cè)器(7a)、第二光電檢測(cè)器(7b)、第三光電檢測(cè)器(7c)和第四光電檢測(cè)器(7d)，其中第一光電檢測(cè)器(7a)和第二光電檢測(cè)器(7b)分別位于第二分光棱鏡(10b)的透射和反射光路上，第三光電檢測(cè)器(7c)和第四光電檢測(cè)器(7d)分別位于第四分光棱鏡(10d)的透射和反射光路上；所述的激光自準(zhǔn)直系統(tǒng)(2)由激光擴(kuò)束準(zhǔn)直系統(tǒng)(11)、凸透鏡(12)、平漂與角漂檢測(cè)光電檢測(cè)器(13)、光束調(diào)整機(jī)構(gòu)(14)、平漂與角漂檢測(cè)分光棱鏡(15)構(gòu)成，其中光束調(diào)整機(jī)構(gòu)(14)位于激光擴(kuò)束準(zhǔn)直系統(tǒng)(11)和平漂與角漂檢測(cè)分光棱鏡(15)之間，凸透鏡(12)位于平漂與角漂檢測(cè)分光棱鏡(15)和平漂與角漂檢測(cè)光電檢測(cè)器(13)之間，光束調(diào)整機(jī)構(gòu)(14)包括可調(diào)整相對(duì)位置間距和角度的楔角棱鏡A(14a)、楔角棱鏡B(14b)；所述的零位基準(zhǔn)裝置(3)包括零位基準(zhǔn)光電檢測(cè)器安裝平臺(tái)(3a)和固有頻率低于0.5Hz的被動(dòng)減振器(3b)，零位基準(zhǔn)光電檢測(cè)器安裝平臺(tái)(3a)通過(guò)被動(dòng)減振器(3b)安裝在基座(5)上，并位于激光自準(zhǔn)直系統(tǒng)(2)的下側(cè)折射光路上；由平漂光電檢測(cè)器(13a)和角漂光電檢測(cè)器(13b)構(gòu)成的平漂與角漂檢測(cè)光電檢測(cè)器(13)固裝在零位基準(zhǔn)裝置(3)的零位基準(zhǔn)光電檢測(cè)器安裝平臺(tái)(3a)上，其初始位置，各平漂、角漂光電檢測(cè)器(13a、13b)接收面分別與各自運(yùn)動(dòng)方向垂直，且接收面中心與對(duì)應(yīng)光束中心重合。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于磁浮零位基準(zhǔn)和激光自準(zhǔn)直測(cè)量的磁浮隔振平臺(tái)，其特征在于所述的臺(tái)體姿態(tài)光電檢測(cè)器(7)和平漂與角漂檢測(cè)光電檢測(cè)器(13)包括位置敏感器件PSD、CCD、四象限探測(cè)器QPD和硅光電池。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于磁浮零位基準(zhǔn)和激光自準(zhǔn)直測(cè)量的磁浮隔振平臺(tái)，其特征在于所述的被動(dòng)減振器(3b)采用磁浮結(jié)構(gòu)，且被動(dòng)減振器(3b)為零剛度減振器。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于磁浮零位基準(zhǔn)和激光自準(zhǔn)直測(cè)量的磁浮隔振平臺(tái)，其特征在于所述的基于磁浮零位基準(zhǔn)和激光自準(zhǔn)直測(cè)量的磁浮隔振平臺(tái)，其特征在于所述的垂向位移執(zhí)行器(8)采用垂向放置的旋轉(zhuǎn)型音圈電機(jī)，垂向位移執(zhí)行器(8)的旋轉(zhuǎn)型音圈電機(jī)動(dòng)子(8a)與磁浮隔振平臺(tái)臺(tái)體(6)固連，垂向位移執(zhí)行器(8)的旋轉(zhuǎn)型音圈電機(jī)定子(8b)配置在隔振器支座(4b)上；所述的水平位移執(zhí)行器(9)采用水平放置的旋轉(zhuǎn)型音圈電機(jī)，水平位移執(zhí)行器(9)的旋轉(zhuǎn)型音圈電機(jī)動(dòng)子(9a)與磁浮隔振平臺(tái)臺(tái)體(6)固連，水平位移執(zhí)行器(9)的旋轉(zhuǎn)型音圈電機(jī)定子(9b)配置在隔振器支座(4b)上。