[發明專利]用于箱體間的密封定位臺

有效

• 申請號: 201210570548.0
• 申請日: 2012-12-25
• 公開（公告）號: CN103075515A
• 公開（公告）日: 2013-05-01
• 發明（設計）人: 王奉瑾
• 申請（專利權）人: 王奉瑾
• 主分類號: F16J15/06
• 分類號: F16J15/06
• 代理公司: 深圳中一專利商標事務所 44237
• 代理人: 張全文

技術領域

本發明涉及密封定位臺的設計領域，尤其涉及用于箱體間的密封定位臺。

背景技術

目前半導體基本一般采用半導體集成密封制造系統完成，由于半導體的制造過程中每一道工序均需在密封條件下完成，且在完成每一工序后無需取出，且對取出后的環境同樣的密封的嚴格要求，因此造成設備廠房規模較大，制造難度較大和成本較高。目前半導體制造企業一般都要耗費大量的人力和物力建設廠房，投資建設一個完整的半導體集成密封制造系統通常要花費幾千萬乃至上億的投資，且廠房的建設周期通常要耗時幾年。因此半導體制造行業入行門檻較高，且投資風險巨大。

要避免因建設大型廠房而造成投資風險，可采用將半導體制造過程中的每一工序變成由若干箱體串接而成的模塊化處理，由每一個密封箱體完成一個工序，由若干個串接的密封箱體完成一個完整的工藝流程。因此，如何構建相互串接的箱體間的密封連接及定位成為構建半導體集成密封制造系統模塊化的首要問題。

發明內容

本發明的目的在于克服現有技術之缺陷，旨在提供用于箱體間的密封定位臺，同時降低整個定位臺的制造成本，為實現半導體集成密封制造系統的模塊化提供必要的準備。

本發明是這樣實現的，用于箱體間的密封定位臺，包括定位座和若干密封夾緊組件，所述定位座上設有可放置并排設置的若干待定位箱體的定位槽，所述定位槽為長條狀，所述定位槽長度方向的兩側壁契合待定位箱體底部的側邊，所述定位槽寬度方向的兩側壁契合若干并排放置后的待定位箱體底部的側邊，所述定位槽長度方向的兩側壁相對的位置設有若干成對布置的卡槽，位于同一側壁上的兩相鄰所述卡槽的間距等于一待定位箱體側邊的長度，該密封定位臺還包括一可卡合于任一對所述卡槽內的卡條；各所述密封夾緊組件包括第一夾緊板和第二夾緊板，所述第一夾緊板的一端固定于所述定位槽長度方向的第一側壁，所述第二夾緊板的一端固定于所述定位槽長度方向的第一側壁相對設置的第二側壁，所述第一夾緊板和第二夾緊板圍合于兩相鄰的待定位箱體相接觸處的外圍，且通過扣緊機構連接。

具體地，所述扣緊機構包括固定于所述第一夾緊板上的扣座和固定于所述第二夾緊板上的扣臺，所述扣座和扣臺位于待定位箱體的同一側壁，所述扣座上設有扣位，所述扣臺上設有可相對于所述扣臺轉動的第一旋轉件，所述第一旋轉件上設有可相對于所述第一旋轉件轉動的第二旋轉件，所述第二旋轉件一端扣合于所述扣座的扣位。

具體地，所述扣座的扣位背向所述扣臺。

具體地，所述第一旋轉件背向所述扣座由其本體上延伸出一松緊手柄。

具體地，所述第一夾緊板的一端具有貼合于所述第二夾緊板的一端表面的貼合部，所述貼合部與所述第一夾緊板主體之間設有一斷面呈弧形的過渡折邊。

具體地，所述第一夾緊板、第二夾緊板與待定位的兩相鄰箱體相接觸處共同形成一凹槽結構，所述凹槽結構內設有密封膠條。

具體地，所述定位槽由固定于所述定位座上的凸條組件圍合而成，所述第一夾緊板和第二夾緊板分別固定于所述凸條組件長度方向的兩側。

具體地，所述凸條組件包括分別位于所述定位座兩側向的兩限位凸條及分別位于所述定位座兩長度方向的若干密封凸條，位于同一側的兩相鄰的密封凸條之間設有形成所述卡槽的間隙。

具體地，各所述密封凸條上設有供所述第一夾緊板的一端和第二夾緊板的一端插入的定位開槽，該定位開槽的側向上設有凸條通孔，所述第一夾緊板和第二夾緊板上分別設有與所述凸條通孔適配的夾緊通孔，相互對應的凸條通孔與所述夾緊通孔設有緊固件。

本發明的有益效果：本發明提供的用于箱體間的密封定位臺，針對半導體集成制造過程中各個工序依次串接，半導體集成制造系統模塊化設計后各箱體之間優先采用并排設置的特點，設置長條狀的定位槽與之適應，同時在所述定位槽長度方向的兩側壁設置成對設置的卡槽，并配備一可卡合于任一對所述卡槽內的卡條，且位于同一側壁上的兩相鄰所述卡槽的間距等于一待定位箱體側邊的長度，因此在設計所述定位槽長度方向上的尺寸時，可預留比較多對的卡槽，如此使構成半導體集成制造系統的各模塊化的箱體的數量可以依據設計的需要進行適當的增減，而無需更換不同的定位臺；顯然當兩箱體并排設置后，兩箱體相接觸的接觸面必存在細微的縫隙，由于半導體集成制造過程中對密封有特殊的要求，對此，本發明通過在兩相鄰的待定位箱體相接觸處的外圍設置第一夾緊板和第二夾緊板，通過第一、第二夾緊板的密封作用，實現兩相鄰的箱體之間的密封，同時通過扣緊機構提高所述第一夾緊板和第二夾緊板之間連接的緊固程度。

附圖說明