[發明專利]采用光加熱的PVD設備

無效

• 申請號: 201210570528.3
• 申請日: 2012-12-25
• 公開（公告）號: CN103074581A
• 公開（公告）日: 2013-05-01
• 發明（設計）人: 王奉瑾
• 申請（專利權）人: 王奉瑾
• 主分類號: C23C14/28
• 分類號: C23C14/28;C23C14/52
• 代理公司: 深圳中一專利商標事務所 44237
• 代理人: 張全文

1.采用光加熱的PVD設備，包括一殼體，其特征在于：所述殼體橫向兩側分別設有供放置待鍍膜材料的傳輸帶通過的入口和出口，且所述傳輸帶將所述殼體分隔成上腔與下腔，所述殼體內入口和出口處分別設有動態夾持所述傳輸帶并帶動其移動的滾筒組，各所述滾筒組包括貼設于傳輸帶上側的上滾筒和貼設于傳輸帶下側的下滾筒，所述殼體上還設有驅動所述滾筒組運轉的第一伺服電機；所述下腔內設有用于放置靶材的移動靶舟及對所述移動靶舟提供熱源的光熱裝置，所述移動靶舟上端具有一朝向所述傳輸帶的噴氣口，所述光熱裝置設于所述移動靶舟下端。

2.根據權利要求1所述的采用光加熱的PVD設備，其特征在于：所述下腔內設有一轉動的絲桿，所述移動靶舟設有與所述絲桿適配的螺紋孔，所述移動靶舟由所述螺紋孔安裝于所述絲桿上。

3.根據權利要求1所述的采用光加熱的PVD設備，其特征在于：所述光熱裝置包括設于所述移動靶舟下端的光腔、設于所述光腔內并聚焦于所述移動靶盤下端的聚焦鏡頭及柔性的導光管，所述導光管的一端插設于所述光腔內并朝向所述聚焦鏡頭，另一端與光源設備連接。

4.根據權利要求3所述的采用光加熱的PVD設備，其特征在于：所述光源設備設于所述殼體的外部，所述導光管連接光源設備的一端穿過所述殼體與所述光源設備連接。

5.根據權利要求1所述的采用光加熱的PVD設備，其特征在于：所述殼體上開設有供惰性氣體進入的進氣口和排出的排氣口。

6.根據權利要求5所述的采用光加熱的PVD設備，其特征在于：所述進氣口和排氣口分別配備有進氣控制閥和排氣控制閥。

7.根據權利要求2所述的采用光加熱的PVD設備，其特征在于：所述殼體側壁設有驅動所述絲桿轉動的第二伺服電機。

8.根據權利要求1所述的采用光加熱的PVD設備，其特征在于：各所述上滾筒和下滾筒的表面設有彈性層，各所述上滾筒和下滾筒的兩端部表面相互彈性按壓，各所述上滾筒和下滾筒之間具有供所述傳輸帶通過的間隙，且各所述上滾筒和下滾筒與所述傳輸帶之間相互彈性按壓。

9.根據權利要求1~8任一項所述的采用光加熱的PVD設備，其特征在于：還包括控制系統，所述控制系統包括膜厚監控系統、測溫裝置、監控所述上腔和下腔內壓力的壓力測控系統、監控所述上腔和下腔內部環境的視頻監控裝置。