[發明專利]蒸鍍用掩模板及其制造方法

無效

• 申請號: 201210569664.0
• 申請日: 2012-12-25
• 公開（公告）號: CN103014618A
• 公開（公告）日: 2013-04-03
• 發明（設計）人: 唐軍
• 申請（專利權）人: 唐軍;錢超
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04
• 代理公司: 廣州市南鋒專利事務所有限公司 44228
• 代理人: 張志醒

1.一種蒸鍍用掩模板，包括板框和拉平固定于板框上的掩模板，所述掩模板上設置有規則排列的多個蒸鍍孔，其特征在于：所述多個蒸鍍孔位于掩模板的中央，所述蒸鍍孔的外圍設置有至少一排緩沖孔，每個所述緩沖孔與所述蒸鍍孔平行設置。

2.如權利要求1所述的蒸鍍用掩模板，其特征在于：所述掩模板橫向設置有N列蒸鍍孔，縱向設置有M行蒸鍍孔，每行蒸鍍孔的左右兩邊分別設置有一個排所述緩沖孔，每列蒸鍍孔的上下兩邊亦分別設置有一個所述緩沖孔，形成一圈緩沖帶。

3.如權利要求2所述的蒸鍍用掩模板，其特征在于：每個所述蒸鍍孔內部設置有條形網格，所述蒸鍍孔外設置有一排或一列緩沖孔，每排緩沖孔為N個，每列緩沖孔為M個，并分別與所述網格平行設置。

4.如權利要求1所述的蒸鍍用掩模板，其特征在于：所述緩沖孔為矩形通孔或盲孔。

5.如權利要求1所述的蒸鍍用掩模板，其特征在于：所述掩模板由鎳鐵合金或銦瓦合金制成，厚度為30～100μm。

6.如權利要求5所述的蒸鍍用掩模板，其特征在于：所述板框由鎳鐵合金或銦瓦合金制成，厚度為14-50?mm，寬度為30-80?mm。

7.一種權利要求1所述蒸鍍用掩模板的制造方法，其特征在于，依次包括以下步驟：

將所述掩模板裁成稍大于所述板框大小的尺寸，平放在所述板框上，將掩模板的四邊拉平并貼緊在所述板框上；

將所述掩模板焊接于所述板框上；

沿所述板框的外邊緣切除多余的部分；

在所述掩模板的外圍開設至少一排緩沖孔；

在掩模板的中間開設所述蒸鍍孔，并使所述緩沖孔與蒸鍍孔平行設置。

8.如權利要求7所述的制造方法，其特征在于，所述沿板框的外邊緣切除多余的部分的步驟具體為：

采用激光工藝將所述多余部分切除。

9.如權利要求7所述的制造方法，其特征在于，所述在蒸鍍孔的外圍開設至少一排緩沖孔的步驟具體包括：

沿掩模板的橫向開設N列蒸鍍孔，沿縱向設置有M行蒸鍍孔，每行蒸鍍孔的左右兩邊分別開設一個所述緩沖孔，每列蒸鍍孔的上下兩邊亦分別開設一個所述緩沖孔，或者

每個所述蒸鍍孔內部設置有條形網格，在所述蒸鍍孔外設置有一排或一列緩沖孔，每排緩沖孔為N個，每列緩沖孔為M個，并分別與所述網格平行設置。

10.如權利要求7所述的制造方法，其特征在于，所述在掩模板上位于板框內處開設所述蒸鍍孔的步驟具體為：

采用激光切割工藝或化學蝕刻工藝開設所述蒸鍍孔。