[發(fā)明專利]測量裝置以及測量方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201210568682.7 | 申請日： | 2012-12-25 |
| 公開（公告）號： | CN103884424A | 公開（公告）日： | 2014-06-25 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 卓嘉弘;莊凱評;劉志祥;謝易辰;周森益;蔡偉雄 | 申請（專利權(quán)）人： | 財團(tuán)法人工業(yè)技術(shù)研究院 |
| 主分類號： | G01J1/42 | 分類號： | G01J1/42 |
| 代理公司： | 北京律誠同業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金國 |
| 地址： | 中國臺灣新竹*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 測量 裝置 以及 測量方法 | ||
1.一種測量裝置，其特征在于，用以測量一晶片上的多個發(fā)光裝置，包括：
一導(dǎo)電探針卡，放置于該晶片的至少一發(fā)光裝置之上，以驅(qū)動該至少一發(fā)光裝置，使該至少一發(fā)光裝置發(fā)出一入射光并穿過該導(dǎo)電探針卡；
一光學(xué)接收模塊，用以接收穿過該導(dǎo)電探針卡的該入射光；
一分光模塊，將該入射光轉(zhuǎn)換為一光譜信號；以及
一數(shù)據(jù)處理模塊，依據(jù)該光譜信號計算出一光學(xué)參數(shù)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量裝置，其特征在于，該分光模塊為一光譜儀，用以根據(jù)以多個不同的繞射角度，將該入射光所包含的不同波長的光束加以分開并且成像。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量裝置，其特征在于，該導(dǎo)電探針卡包括至少一組金屬微線陣列單元，用以電性連接該發(fā)光裝置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量裝置，其特征在于，該導(dǎo)電探針卡為一透明的導(dǎo)電探針卡。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量裝置，其特征在于，該光學(xué)參數(shù)包括全光通量、色度或亮度的其中之一或其組合。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量裝置，其特征在于，該光學(xué)接收模塊為一積分球。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量裝置，其特征在于，該導(dǎo)電探針卡是用以驅(qū)動該晶片上的一第一發(fā)光裝置與一第二發(fā)光裝置，該光學(xué)接收模塊包括一第一積分球以及一第二積分球，以分別接收該第一發(fā)光裝置與該第二發(fā)光裝置所發(fā)出并穿過該導(dǎo)電探針卡的入射光。
8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的測量裝置，其特征在于，該積分球整合至該導(dǎo)電探針卡之上。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的測量裝置，其特征在于，還包括該數(shù)據(jù)處理模塊用以控制該第一積分球與該第二積分球，使得該第一積分球與該第二積分球同步地移動，以分別對準(zhǔn)該第一發(fā)光裝置與該第二發(fā)光裝置。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的測量裝置，其特征在于，還包括該數(shù)據(jù)處理模塊用以控制該第一積分球與該第二積分球，使得該第一積分球與該第二積分球獨立地移動，以分別對準(zhǔn)該第一發(fā)光裝置與該第二發(fā)光裝置。
11.一種測量方法，其特征在于，應(yīng)用于一測量裝置，該測量裝置包括一導(dǎo)電探針卡、一光學(xué)接收模塊、一分光模塊以及一數(shù)據(jù)處理單元，該測量方法包括：
放置該導(dǎo)電探針卡于一晶片的至少一發(fā)光裝置之上；
通過該導(dǎo)電探針卡驅(qū)動該至少一發(fā)光裝置，使得該至少一發(fā)光裝置發(fā)出一入射光并穿過該導(dǎo)電探針卡；
通過該光學(xué)接收模塊接收穿過該導(dǎo)電探針卡的該入射光；
通過該分光模塊轉(zhuǎn)換該入射光為光譜信號；以及
通過該數(shù)據(jù)處理單元依據(jù)該光譜信號計算出一光學(xué)參數(shù)。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的測量方法，其特征在于，轉(zhuǎn)換該入射光為光譜信號的步驟是通過一光譜儀，根據(jù)多個不同的繞射角度，將該入射光所包含的不同波長的光束加以分開并且成像。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的測量方法，其特征在于，驅(qū)動該至少一發(fā)光裝置的步驟是通過包括至少一組金屬微線陣列單元的該導(dǎo)電探針卡，以電性連接該發(fā)光裝置。
14.根據(jù)權(quán)利要求11所述的測量方法，其特征在于，驅(qū)動該至少一發(fā)光裝置的步驟是通過一透明的導(dǎo)電探針卡驅(qū)動該至少一發(fā)光裝置。
15.根據(jù)權(quán)利要求11所述的測量方法，其特征在于，該光學(xué)參數(shù)包括全光通量、色度或亮度的其中之一或其組合。
16.根據(jù)權(quán)利要求11所述的測量方法，其特征在于，接收該入射光的步驟包括通過該光學(xué)接收模塊中的一積分球接收穿過該導(dǎo)電探針卡的該入射光。
17.根據(jù)權(quán)利要求11所述的測量方法，其特征在于，該導(dǎo)電探針卡是驅(qū)動該晶片的一第一發(fā)光裝置與一第二發(fā)光裝置，并且接收該入射光的步驟包括通過該光學(xué)接收模塊中的一第一積分球與一第二積分球分別測量該第一發(fā)光裝置與該第二發(fā)光裝置所發(fā)出并穿過該導(dǎo)電探針卡的入射光。
18.根據(jù)權(quán)利要求16或17所述的測量方法，其特征在于，該積分球是整合至該導(dǎo)電探針卡之上。
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