[發明專利]一種新型藍寶石晶體生長爐爐體冷卻系統

無效

• 申請號: 201210567620.4
• 申請日: 2012-12-24
• 公開（公告）號: CN102978690A
• 公開（公告）日: 2013-03-20
• 發明（設計）人: 滑喜寶
• 申請（專利權）人: 蘇州工業園區杰士通真空技術有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B29/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及一種藍寶石晶體生長爐的結構設計，尤其是一種爐體冷卻系統

背景技術

目前，藍寶石晶體生長爐大整個外殼大多采用雙層筒體中間有水冷夾層的方案進行爐體冷卻，腔室主體結構簡單，尺寸較大，采用此種方案較為合適。但藍寶石晶體生長爐是一種非常復雜的設備，對于上爐蓋，其上不僅有籽晶通孔，觀察孔以及各種測試裝置通孔，這些都給上爐蓋的水冷系統的加裝帶來了一定的難度；對于下爐蓋，有些爐型裝有電極通孔，有些爐型裝有升降裝置，不利于水冷系統的加裝，這些都使得設備造價居高不下。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是提供一種新型藍寶石晶體生長爐爐體冷卻系統，解決設備成本高的問題。

為解決上述技術問題，本發明的技術方案為：一種新型藍寶石晶體生長爐爐體冷卻系統，包括腔室主體水冷系統，上爐蓋水冷系統和下爐蓋水冷系統，其特征在于，所述腔室主體水冷系統為雙層筒體之間加導流槽，冷卻水一進一出，所述上爐蓋水冷系統為單層爐蓋懸掛金屬導熱板，金屬導熱板上焊接有金屬水管，冷卻水一進一出，所述下爐蓋水冷系統為單層爐蓋支撐金屬導熱板，金屬導熱板上焊接有金屬水管，冷卻水一進一出。

上述一種新型藍寶石晶體生長爐爐體冷卻系統，其特征在于，所述腔室主體上有3-12個電極樁，1個進水管和1個出水管，所述上爐蓋上有1個籽晶通孔，1個籽晶腔室，1個觀察孔，1個觀察孔遮擋片伺服機構，1個進水管和1個出水管，所述下爐蓋上有3個電極樁，1個進水管和1個出水管。

上述一種新型藍寶石晶體生長爐爐體冷卻系統，其特征在于，所述金屬導熱板和金屬水管的材質為鎢，鉬，銅和鋁四中材料中的任意一種。

本發明的優點在于：此種爐體冷卻系統設計簡單，冷卻能力強，制造成本低，換熱效果更好。

附圖說明

下面結合附圖和具體實施方式對本發明作進一步詳細的說明。

圖1是晶體生長爐爐體冷卻系統示意圖。

圖2是腔室主體水冷系統示意圖。

圖3是上爐蓋水冷系統示意圖。

圖4是上爐蓋俯視圖。

圖5是上爐蓋金屬導熱板示意圖。

圖6是下爐蓋水冷系統示意圖。

圖7是下爐蓋金屬導熱板示意圖。

具體實施方式

圖1所示，晶體生長爐爐體冷卻系統包括腔室主體水冷系統17，上爐蓋水冷系統15和下爐蓋水冷系統16。圖2所示，腔室主體上有電極樁11，進水管19和出水管18，在雙層不銹鋼夾層中間設置導流板20，使得冷卻水自下而上流經整個爐殼。圖3，圖4和圖5所示，上爐蓋水冷系統15為單層爐蓋懸掛金屬導熱板5，金屬導熱板5上焊接有金屬水管7，冷卻水一進一出。上爐蓋4有一個籽晶通孔2，一個籽晶腔室1，一個觀察孔3，一個觀察孔遮擋片伺服機構6，一個進水管8和一個出水管9。圖6和圖7所示，下爐蓋水冷系統16為單層爐蓋上支撐金屬導熱板14，金屬導熱板14上焊接有金屬水管10，冷卻水一進一出。金屬導熱板和金屬水管材質為銅。下爐蓋上有3個電極樁11，一個進水管12和一個出水管13。