[發明專利]一種金屬密封圈

有效

• 申請號: 201210566976.6
• 申請日: 2012-12-24
• 公開（公告）號: CN102996792A
• 公開（公告）日: 2013-03-27
• 發明（設計）人: 蘇乾益;杜井慶;宋志輝;李甲
• 申請（專利權）人: 北京七星華創電子股份有限公司
• 主分類號: F16J15/00
• 分類號: F16J15/00;F16K51/00
• 代理公司: 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31275
• 代理人: 吳世華;林彥之

技術領域

本發明涉及一種氣體質量流量控制器上用于各種氣體和液體密封的密封圈，具體地說，涉及一種金屬密封圈。

背景技術

氣體質量流量控制器主要用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制，在半導體微電子工業、特種材料研制、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用。在氣體質量流量控制器上，為防止氣體和液體外泄常通過密封圈進行密封，常見的密封圈如橡膠密封圈、塑料密封圈。

橡膠密封圈即傳統的密封圈，其只有密封的功能，不能兼顧固定或支撐零件的作用。橡膠密封圈由于材料本身很軟，所以只要受到擠壓力就會變形。如果變形量過大，橡膠密封圈的材料將會失去彈性，時間長了將會失去密封的作用，并且橡膠的耐腐蝕性差。

塑料密封圈，如聚四氟乙烯密封圈等，由于材料本身較軟，且容易產生塑性變形。因此，塑料密封圈也不能實現既有密封的功能，同時又起到固定或支撐零件的作用。

目前，氣體質量流量控制器中采用的金屬密封圈，其結構為空心圓柱形狀，?圈體兩端處具有密封唇。相對于橡膠密封圈和塑料密封圈，金屬密封圈的密封性較好，耐腐蝕性好，且長期使用不易老化。此外，金屬密封圈還可以起到固定或支撐零件的作用。

但是，金屬密封圈對所密封零件的密封表面的質量要求很高，導致成本較高；并且金屬密封圈的可塑性較差，不允許有較大的壓縮變形量，金屬密封圈需要施加很大壓緊力，才能實現密封。因此，現有金屬密封圈存在成本較高及可塑性較差，不允許有較大的壓縮變形量導致的密封不嚴等問題。

發明內容

本發明的主要目的為，針對上述問題，提出一種金屬密封圈，具有密封效果好，不易老化；允許有較大壓縮的變形量，可以有效的降低密封結構的尺寸精度的要求，大大地降低了制造成本。此外，其耐腐蝕性強，可用于各種腐蝕強的氣體，液體等密封。

為達成上述目的，本發明提供一種金屬密封圈，該金屬密封圈包括圈體和位于所述圈體兩端端口處的一圈第一密封唇，其特征在于，所述圈體呈空心柱體狀，所述圈體的外表面上至少有一個向圈體內表面凹陷的凹槽。

優選地，所述圈體外表面上向所述圈體內表面凹陷的凹槽有多個，且均勻分布在所述圈體兩端端口之間。

優選地，所述圈體外表面上向所述圈體內表面凹陷的凹槽，沿徑向向外方向的截面形狀為多邊形、U型、圓弧、或其中任意一種或多種圖形的組合。

優選地，所述圈體外表面上向所述圈體內表面凹陷的凹槽的圓弧截面為半圓弧形，所述多邊形為三角形、矩形或梯形。

優選地，所述金屬密封圈還包括位于圈體凹槽突出表面上的第二密封唇，其中，所述第二密封唇的徑向厚度大于所述第一密封唇的徑向厚度。。

優選地，所述第一密封唇和/或第二密封唇的截面為多邊形、圓弧、U型、或其中任意一種或多種圖形的組合。

優選地，所述第一密封唇和/或第二密封唇的圓弧截面為半圓弧形，所述多邊形為三角形、矩形、或梯形。

優選地，所述金屬密封圈的圈體、第一密封唇和第二密封唇為一體結構。

優選地，所述金屬密封圈的材料為不銹鋼。

本發明還提供一種氣體質量流量控制器，包括：通道、閥口、閥芯、閥體和金屬密封圈，所述的金屬密封圈安裝在通道和閥口之間，其中，所述金屬密封圈的軸線與閥口的軸線相重合。

從上述技術方案可以看出，本發明的一種金屬密封圈，該金屬密封圈包括圈體和位于所述圈體兩端端口處的一圈第一密封唇，其中，所述圈體的外表面上至少有一個向圈體內表面凹陷的凹槽。通過對金屬密封圈的結構進行改進，使得金屬密封圈不僅密封效果好，不易老化；耐腐蝕性強，可用于各種腐蝕強的氣體，液體等密封，還允許有較大壓縮的變形量，可以有效的降低密封結構的尺寸精度的要求，大大地降低了制造成本。

附圖說明

圖1為本發明金屬密封圈結構的立體示意圖；

圖2為本發明金屬密封圈的使用狀態結構示意圖；

圖3為本發明金屬密封圈的使用狀態結構局部示意圖；

圖4為本發明金屬密封圈的正視圖；

圖5為沿圖4中的1-1線刨開的本發明的金屬密封圈的剖面圖；

圖6為圖5中A處的局部結構示意圖。

具體實施方式

體現本發明特征與優點的一些典型實施例將在后段的說明中詳細敘述。應理解的是本發明能夠在不同的示例上具有各種的變化，其皆不脫離本發明的范圍，且其中的說明及圖示在本質上當作說明之用，而非用以限制本發明。