[發明專利]改良西門子法生產多晶硅的廢氣淋洗處理工藝及設備

有效

• 申請號: 201210566331.2
• 申請日: 2012-12-24
• 公開（公告）號: CN102989300A
• 公開（公告）日: 2013-03-27
• 發明（設計）人: 宋東明;宋良杰;方瓊;蔣萬順;李才勇;周祖萍;沈宗喜;丁丙恒;章華;鄧亮
• 申請（專利權）人: 昆明冶研新材料股份有限公司
• 主分類號: B01D53/78
• 分類號: B01D53/78;B01D53/68;B01D53/96;B01D25/12;B01D21/18;B01D36/04
• 代理公司: 昆明今威專利商標代理有限公司 53115
• 代理人: 賽曉剛

1.一種改良西門子法生產多晶硅的廢氣淋洗處理工藝及裝置，其特征在于采用NaOH堿液為淋洗液對廢氣在淋洗塔塔體（18）內進行淋洗處理，去除從采用改良西門子法生產多晶硅工藝中排出廢氣中的氯硅烷或氯化氫有害成分，凈化處理后的廢氣經過安全液封罐（22），廢氣達到國家排放標準后排放；凈化處理后的廢水落入每個淋洗塔（1）的淋洗液收集溝（2）中，淋洗液收集溝（2）收集的廢水再集積到分流溝（15）中最后以自流方式流入渣水收集池（14），每個渣水收集池（14）上裝有一臺全自動上下一體行車式往返刮板機（4），渣水收集池（14）內通過全自動上下一體行車式往返刮板機（4）將廢渣刮入或收集到攪拌池（8），隨后攪拌池（8）內的廢渣再輸送到箱式壓濾機進行固液分離，分離得到的固定干渣送渣場堆存，濾液回流到循環水池（11），供淋洗塔（1）再次使用。

2.根據權利要求1所述改良西門子法生產多晶硅的廢氣淋洗處理工藝及裝置，其特征在于：所述的淋洗液PH值小于或等于8，所使用的NaOH濃度為10%-15%。

3.根據權利要求1所述改良西門子法生產多晶硅的廢氣淋洗處理工藝及裝置，其特征在于：所述的淋洗處理是廢氣從淋洗塔塔體（18）底部的廢氣管進口（17）進入淋洗塔（1），經過堿液噴淋管道（19），螺旋噴頭（20），捕沫器（21）三層NaOH淋洗液的凈化處理。

4.根據權利要求3所述的改良西門子法生產多晶硅的廢氣淋洗處理工藝及裝置，其特征在于：渣水收集池（14）一側是回流溝（6），另一側是分流溝（15）；渣水收集池（14）設置三道過濾網格柵，第一道過濾網格柵是從淋洗液收集溝（2）自流到分流溝（15），通過渣水收集池（14）的格柵進入水池，第二道過濾網是安裝在渣水收集池（14）距離下部水面0.5米處與回流溝（6）相接處的格柵，第三層過濾網安裝在回流溝內壁的4個回流溝格柵（9）。

渣水收集池（14）中部位置與回流溝（6）相接處，均勻開有三個出口，每個出口有一個過濾網（5），水經過鑲嵌在渣水收集池（14）中部位置壁內的過濾網格柵回流溝自流入循環水池（11）。

5.根據權利要求4所述的改良西門子法生產多晶硅的廢氣淋洗處理工藝及裝置，其特征在于：每個過濾網（5）寬1.2米×高0.8米，過濾網采用PVC板材料制作，過濾網的格柵規格為1400×1300穿孔子板。

6.根據權利要求3所述的改良西門子法生產多晶硅的廢氣淋洗處理工藝，其特征在于箱式壓濾機由機架部分、過濾部分、液壓系統和電氣系統四大部分組成；機架部分是機器的主體，用于支撐過濾結構，連接其它部件，機架部分內裝有由止推板、壓緊板、油缸和主粱部件構成的板框組；過濾部分包括有濾板和濾布，先由液壓系統施加壓緊板框組，料漿由中間壓入板框組，分布在板框組中的各濾板之間，借助進料泵產生的壓力，料漿被裝在濾板中的濾布過濾，由于濾布作用，固體留在濾室內形成濾餅，濾液由水嘴或明流排出，實現固、液分離的脫液方法。