[發明專利]一種半導體微納單晶氣敏傳感器測試系統

有效

• 申請號: 201210566058.3
• 申請日: 2012-12-24
• 公開（公告）號: CN103048358A
• 公開（公告）日: 2013-04-17
• 發明（設計）人: 湯慶鑫;童艷紅;蔡彬;塔利哈爾;裴騰飛
• 申請（專利權）人: 東北師范大學
• 主分類號: G01N27/00
• 分類號: G01N27/00;G01R31/26
• 代理公司: 長春市東師專利事務所 22202
• 代理人: 劉延軍;趙軍

1.一種半導體微納單晶氣敏傳感器測試系統，其特征是結構如下：將制備好的SnO₂單晶納米帶場效應晶體管固定在芯片底座（3）上，單晶納米帶場效應晶體管的各個電極與芯片底座（3）上的電極相連；在IC電路板（1）上焊接測試芯片轉換座（4）和排針（2），使測試芯片轉換座(4)的各個針孔和排針(2)一一對應并且導通；IC電路板(1)固定在固定支架(7)上；外接信號輸出端口(8)和排針(2)相連，外接信號輸出端口(8)和固定支架(7)固定在盲板(6)上,將以上完成連接的組件密封固定在測試腔體(5)中；將測試腔體(5)分別與進氣系統（10）氣體流量監控及組分調控單元（11）尾氣回收系統（12）以及通過外接信號輸出端口(8)與半導體電學測試系統（9）相連接。

2.按權利要求１所述的一種半導體微納單晶氣敏傳感器測試系統，其特征是單晶納米帶場效應晶體管為SnO₂單晶納米帶場效應晶體管，外接信號輸出端口（8）和排針（2）通過雙頭杜邦線相連，杜邦線接頭處使用熱縮膠管；外接信號輸出端口（8）即CS-719型3軸航空接頭和固定支架（7）通過之前設計加工好的螺紋來固定在盲板（6）上，在固定孔處加入O型橡膠密封圈。