[發明專利]雙串接圓環結構的太赫茲波偏振分束器

有效

• 申請號: 201210564214.2
• 申請日: 2012-12-24
• 公開（公告）號: CN103018830A
• 公開（公告）日: 2013-04-03
• 發明（設計）人: 李九生
• 申請（專利權）人: 中國計量學院
• 主分類號: G02B6/126
• 分類號: G02B6/126
• 代理公司: 杭州求是專利事務所有限公司 33200
• 代理人: 張法高

1.一種雙串接圓環結構的太赫茲波偏振分束器，其特征在于包括信號輸入端（1）、第一信號輸出端（2）、第二信號輸出端（3）、基體（4）、第一直波導（5）、第二直波導（6）、第一串接圓環形波導（7）、第二串接圓環形波導（8）、串接菱形波導（9）；基體（4）上設有第一直波導（5）、第二直波導（6）、第一串接圓環形波導（7）、第二串接圓環形波導（8）、串接菱形波導（9），第一直波導（5）與第二直波導（6）之間依次設有第一串接圓環形波導（7）、串接菱形波導（9）和第二串接圓環形波導（8），第一串接圓環形波導（7）和第二串接圓環形波導（8）均由三個圓環形波導（10）順次連接而成，串接菱形波導（9）由左半個菱形波導（11）、兩個菱形波導（12）、右半個菱形波導（13）順次連接組成；太赫茲波信號從信號輸入端（1）輸入，TE波經第一直波導（5）直接從第一信號輸出端（2）輸出，通過第一串接圓環形波導（7）、串接菱形波導（9）、第二串接圓環形波導（8）之間的耦合作用，TM波經第二直波導從第二信號輸出端（3）輸出，達到分束的目的。

2.根據權利要求1所述的一種雙串接圓環結構的太赫茲波偏振分束器，其特征在于所述的基體（4）的材料為二氧化硅，基體（4）的長度為2200μm~2400μm，寬度為1800μm~2000μm，厚度為300μm~400μm；所述的波導的材料為硅，波導厚度均為20μm~40μm。

3.根據權利要求1所述的一種雙串接圓環結構的太赫茲波偏振分束器，其特征在于所述的第一直波導（5）和第二直波導（6）的長度分別為2200μm~2400μm，1900μm~2000μm；第一直波導（5）和第二直波導（6）的寬度均為50μm~80μm。

4.根據權利要求1所述的一種雙串接圓環結構的太赫茲波偏振分束器，其特征在于所述的圓環形波導（10）的寬度為50μm~80μm，圓環形波導（10）的外圓半徑為300μm~400μm。

5.根據權利要求1所述的一種雙串接圓環結構的太赫茲波偏振分束器，其特征在于所述的左半個菱形波導（11）的尺寸與菱形波導（12）的右半部分尺寸相同；右半個菱形波導（13）的尺寸與菱形波導（12）的左半部分尺寸相同；所述的菱形波導（12）的長度為600μm~800μm，寬度為150μm~200μm。

6.根據權利要求1所述的一種雙串接圓環結構的太赫茲波偏振分束器，其特征在于所述的第一直波導（5）與第一串接圓環形波導（7）之間的間隔距離為10μm~20μm；第二直波導（6）與第二串接圓環形波導（8）之間的間隔距離為10μm~20μm。

7.根據權利要求1所述的一種雙串接圓環結構的太赫茲波偏振分束器，其特征在于所述的串接菱形波導（9）和第一串接圓環形波導（7）之間的間隔距離與串接菱形波導（9）和第二串接圓環形波導（7）之間的間隔距離相等，均為5μm~10μm。