[發(fā)明專利]化學(xué)藥液供給系統(tǒng)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201210563808.1 | 申請日： | 2012-12-21 |
| 公開（公告）號： | CN103047539A | 公開（公告）日： | 2013-04-17 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 初國超;何金群;裴立坤;王銳廷;王營營 | 申請（專利權(quán)）人： | 北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司 |
| 主分類號： | F17D1/14 | 分類號： | F17D1/14;F17D3/01 |
| 代理公司： | 北京路浩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002 | 代理人： | 王瑩 |
| 地址： | 100015 北京*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 化學(xué) 藥液 供給 系統(tǒng) | ||
1.一種化學(xué)藥液供給系統(tǒng)，其特征在于，所述系統(tǒng)包括主用儲液罐、備用儲液罐、供液裝置和控制器，其中：
所述供液裝置分別與所述主用儲液罐、所述備用儲液罐以及所述控制器相連接；
所述主用儲液罐及所述備用儲液罐用于儲存并提供化學(xué)藥液；
所述供液裝置用于接收所述控制器的指令，并根據(jù)所述控制器的指令將所述主用儲液罐或所述備用儲液罐中的化學(xué)藥液輸送給外部設(shè)備；
所述控制器用于控制所述供液裝置將所述主用儲液罐或所述備用儲液罐中的化學(xué)藥液輸送給外部設(shè)備。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)藥液供給系統(tǒng)，其特征在于，所述供液裝置具體包括供液管路、供液氣動閥、供液泵和供液出口手閥，其中：
所述供液管路的進液口分別與所述主用儲液罐及所述備用儲液罐的底部相連，所述供液管路的出液口與所述供液出口手閥相連，用于輸送化學(xué)藥液；
所述供液氣動閥與所述控制器相連，用于接收所述控制器的指令，并根據(jù)所述控制器的指令控制所述供液管路的連通或閉合；
所述供液泵用于將所述主用儲液罐或所述備用儲液罐中的化學(xué)藥液輸送到所述供液出口手閥；
所述供液出口手閥用于將所述供液管路中的化學(xué)藥液輸送給外部設(shè)備。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的化學(xué)藥液供給系統(tǒng)，其特征在于，所述供液管路的進液口還安裝有液位傳感器，
所述液位傳感器與所述控制器相連，用于采集所述主用儲液罐或所述備用儲液罐的液位信息，并將所述液位信息傳送給所述控制器。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的化學(xué)藥液供給系統(tǒng)，其特征在于，所述系統(tǒng)還包括回液裝置，
所述回液裝置分別與所述主用儲液罐、所述備用儲液罐、所述供液裝置及所述控制器相連，用于接收所述控制器的指令，并根據(jù)所述控制器的指令將所述供液管路中的部分化學(xué)藥液回送到所述主用儲液罐或所述備用儲液罐。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的化學(xué)藥液供給系統(tǒng)，其特征在于，所述回液裝置具體包括回液管路、回液氣動閥和針閥，其中，
所述回液管路的一端與所述供液管路的出液口相連，另一端分別與所述主用儲液罐及所述備用儲液罐相連，用于回送化學(xué)藥液；
所述回液氣動閥與所述控制器相連，用于接收所述控制器的指令，并根據(jù)所述控制器的指令控制所述回液管路的連通或閉合；
所述針閥用于調(diào)節(jié)所述回液管路的開度。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的化學(xué)藥液供給系統(tǒng)，其特征在于，所述供液裝置還包括藥液循環(huán)子裝置，
所述藥液循環(huán)子裝置分別與所述主用儲液罐、所述備用儲液罐及所述控制器相連，用于接收所述控制器的指令，并根據(jù)所述控制器的指令將所述主用儲液罐或所述備用儲液罐中的化學(xué)藥液通過管路循環(huán)的方式混合均勻。
7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的化學(xué)藥液供給系統(tǒng)，其特征在于，所述系統(tǒng)還包括補氣裝置，
所述補氣裝置分別與所述主用儲液罐、所述備用儲液罐及所述控制器相連，用于接收所述控制器的指令，并根據(jù)所述控制器的指令向所述主用儲液罐或所述備用儲液罐中補充氮氣。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的化學(xué)藥液供給系統(tǒng)，其特征在于，所述補氣裝置還包括超壓溢流單向閥，
所述超壓溢流單向閥分別與所述主用儲液罐及所述備用儲液罐的頂部相連，用于調(diào)節(jié)所述主用儲液罐及所述備用儲液罐中的氣體壓力，使其始終小于設(shè)定閾值。
9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的化學(xué)藥液供給系統(tǒng)，其特征在于，所述系統(tǒng)還包括清洗裝置，
所述清洗裝置分別與所述供液裝置及所述控制器相連，用于接收所述控制器的指令，并根據(jù)所述控制器的指令對所述供液管路進行清洗。
10.根據(jù)權(quán)利要求2所述的化學(xué)藥液供給系統(tǒng)，其特征在于，所述系統(tǒng)還包括干燥裝置，
所述干燥裝置分別與所述供液裝置及所述控制器相連，用于接收所述控制器的指令，并根據(jù)所述控制器的指令對所述供液管路進行干燥處理。
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