[發明專利]一種太陽能電池及其制備方法

有效

• 申請號: 201210562861.X
• 申請日: 2012-12-21
• 公開（公告）號: CN103022253A
• 公開（公告）日: 2013-04-03
• 發明（設計）人: 石強;韓瑋智;牛新偉;蔣前哨;李永輝;仇展煒
• 申請（專利權）人: 浙江正泰太陽能科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;C30B33/10;H01L31/04
• 代理公司: 北京漢昊知識產權代理事務所(普通合伙) 11370
• 代理人: 馮譜

1.一種太陽能電池的制備方法，其中，包括以下步驟：

a）對金剛線切割的硅片進行腐蝕；

b）對腐蝕后的所述硅片進行制絨；

c）在所述硅片正面形成P擴散層，然后去除所述硅片正面的PSG和周邊P擴散層；

d）在所述硅片正面形成減反膜；

e）在所述硅片背面形成背電極和鋁背場；

f）在所述硅片正面形成正電極；

其特征在于，

先采用堿性混合溶液對所述硅片進行腐蝕，腐蝕溫度為70℃~90℃，之后再采用酸性混合溶液對所述硅片進行進一步腐蝕，腐蝕溫度為5℃~18℃；

所述制絨采用反應離子刻蝕制絨。

2.根據權利要求1所述的制備方法，其中，所述硅片導電類型為P型，少子壽命大于1μm，電阻范圍為0~5Ω.cm。

3.根據權利要求1或2所述的制備方法，其中，

所述堿性混合溶液為質量濃度在5%~15%范圍內的KOH/NaOH/CH₃CH₂OH混合溶液，KOH/NaOH/CH₃CH₂OH的質量比為1~5:2~8:1~5；

所述硅片在所述堿性混合溶液中的去重比率為2%~8%。

4.根據權利要求3所述的制備方法，其中，

所述酸性混合溶液為HNO₃/HF/CH₃COOH混合溶液，HNO₃/HF/CH₃COOH的體積比為1~10:1~5:1~5；

所述HNO₃、HF和CH₃COOH的質量濃度分別為68%、40%和98%；

所述硅片在所述酸性混合溶液中的去重比率為1%~5%。

5.根據權利要求1所述的制備方法，其中，所述步驟b）還進一步包括：

將制絨后的所述硅片置于HF/CH₃COOH混合溶液中，并超聲處理5min~10min，進一步去除表面殘留物。

6.根據權利要求1所述的方法，其中，所述步驟d）進一步包括：

將所述硅片至于氫氣氣氛的管式PECVD爐中，在溫度400℃~800℃的條件下，退火5min~30min；

將所述管式PECVD爐抽真空至0Pa~50Pa，去除殘余氣體；

恒定壓強1min~2min，充入硅烷和氨氣，沉積氮化硅減反膜。

7.一種太陽能電池，由上至下依次包括：正電極、減反膜、絨面、P擴散層、硅片、鋁背場/背電極，其特征在于，

所述硅片為金剛線切割而成，并且依次經過堿性混合溶液和酸性混合溶液的腐蝕，在所述堿性混合溶液中的腐蝕溫度為70℃~90℃，在所述酸性混合溶液中的腐蝕溫度為5℃~18℃；

所述硅片采用反應離子刻蝕形成絨面結構。

8.根據權利要求7所述的太陽能電池，其中，所述硅片導電類型為P型，少子壽命大于1μm，電阻范圍為0~5Ω.cm。

9.根據權利要求7所述的太陽能電池，其中，

所述堿性混合溶液為質量濃度在5%~15%范圍內的KOH/NaOH/CH₃CH₂OH混合溶液，KOH/NaOH/CH₃CH₂OH的質量比為1~5:2~8:1~5；

所述硅片在所述堿性混合溶液中的去重比率為2%~8%。

10.根據權利要求8或9所述的太陽能電池，其中，

所述酸性混合溶液為HNO₃/HF/CH₃COOH混合溶液，HNO₃/HF/CH₃COOH的體積比為1~10:1~5:1~5；

所述HNO₃、HF和CH₃COOH的質量濃度分別為68%、40%和98%；

所述硅片在所述酸性混合溶液中的去重比率為1%~5%。