[發(fā)明專利]一種二氧化釩薄膜的制備方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210561778.0
• 申請日: 2012-12-22
• 公開（公告）號: CN103014701A
• 公開（公告）日: 2013-04-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 彭壽;單傳麗;甘治平;王東;石麗芬;金良茂;張家林
• 申請（專利權(quán)）人: 蚌埠玻璃工業(yè)設(shè)計研究院;中國建材國際工程集團(tuán)有限公司
• 主分類號: C23C26/00
• 分類號: C23C26/00
• 代理公司: 安徽省蚌埠博源專利商標(biāo)事務(wù)所 34113
• 代理人: 倪波

1.一種二氧化釩薄膜的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

1）將實(shí)驗(yàn)用玻璃襯底清洗和吹干后放置于原子層沉積設(shè)備反應(yīng)腔體中；

2）用高純氮?dú)獯祾咴訉映练e設(shè)備前驅(qū)體管路和反應(yīng)腔體；

3）設(shè)置原子層沉積設(shè)備反應(yīng)腔體內(nèi)反應(yīng)溫度為300—350℃；

4）固態(tài)乙酰丙酮氧釩加熱至100℃后以氣態(tài)形式經(jīng)前驅(qū)體管路進(jìn)入反應(yīng)腔體中，氣態(tài)乙酰丙酮氧釩與所述玻璃襯底表面發(fā)生化學(xué)吸附，使乙酰丙酮氧釩中的釩原子吸附在玻璃襯底表面；

5）用高純氮?dú)獯祾咔膀?qū)體管路和反應(yīng)腔體；

6）向反應(yīng)腔體中通入高純氧氣，高純氧氣中的氧原子與所述玻璃襯底表面上吸附的釩原子形成釩氧鍵，待反應(yīng)完全后，玻璃襯底表面沉積一層二氧化釩薄膜，重復(fù)上述步驟，即可形成厚度可控的二氧化釩薄膜。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種二氧化釩薄膜的制備方法，其特征在于，步驟1）中，所述玻璃襯底清洗和吹干方法為：依次在丙酮溶液、乙醇溶液、去離子水中超聲清洗10分鐘，最后用壓縮氮?dú)獯蹈伞?/p>

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種二氧化釩薄膜的制備方法，其特征在于，步驟2）、5）中吹掃原子層沉積設(shè)備前驅(qū)體管路和反應(yīng)腔體的時間均為3s。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種二氧化釩薄膜的制備方法，其特征在于，步驟4）中氣態(tài)乙酰丙酮氧釩的流速為50sccm—800sccm，進(jìn)氣時間為0.5—1s。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種二氧化釩薄膜的制備方法，其特征在于，所述高純氧氣的流速為10sccm—400sccm，進(jìn)氣時間為0.5—1s。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種二氧化釩薄膜的制備方法，其特征在于，所述高純氮?dú)夂透呒冄鯕獾募兌染鶠?9.999%。