[發明專利]卷對卷石墨烯制備設備

有效

• 申請號: 201210561455.1
• 申請日: 2012-12-21
• 公開（公告）號: CN102976318A
• 公開（公告）日: 2013-03-20
• 發明（設計）人: 李占成;史浩飛;張為國;杜春雷
• 申請（專利權）人: 重慶綠色智能技術研究院
• 主分類號: C01B31/04
• 分類號: C01B31/04
• 代理公司: 北京同恒源知識產權代理有限公司 11275
• 代理人: 霍本俊

1.一種卷對卷石墨烯制備設備，其特征在于：

包括密閉的真空室；

所述真空室內設有用于驅動石墨烯生長箔帶運動的輥系，所述輥系包括用于石墨烯生長箔帶導向的驅動輥、用于在石墨烯生長箔帶上生長石墨烯的生長輥和石墨烯制備完成后用于收卷石墨烯生長箔帶的收卷輥；

所述真空室內與所述生長輥對應設有用于加熱石墨烯生長箔帶的加熱裝置，沿著所述石墨烯生長箔帶運動方向，所述生長輥后設有用于冷卻生長有石墨烯的石墨烯生長箔帶的快速冷卻裝置；

所述真空室內設有用于通入石墨烯制備所需氣體的氣路系統，且真空室外設有用于對所述真空室抽真空的真空泵組。

2.根據權利要求1所述的卷對卷石墨烯制備設備，其特征在于：所述快速冷卻裝置后設有保護層壓制裝置，所述保護層壓制裝置包括至少一對相互配合并用于向所述石墨烯生長箔帶壓制石墨烯保護層的壓輥。

3.根據權利要求2所述的卷對卷石墨烯制備設備，其特征在于：所述生長輥采用石英材料制成，所述驅動輥、收卷輥和壓輥為外周壁鏡面拋光的金屬輥或表面光滑的膠輥。

4.根據權利要求3所述的卷對卷石墨烯制備設備，其特征在于：所述石墨烯生長箔帶為銅箔，所述驅動錕、生長輥和收卷輥上設有用于驅動所述驅動錕、生長輥和收卷輥以相同切速度轉動的驅動機構。

5.根據權利要求2所述的卷對卷石墨烯制備設備，其特征在于：所述保護層壓制裝置上設有用于測量所述壓輥之間對壓壓力的壓力傳感器及壓力控制器。

6.根據權利要求2所述的卷對卷石墨烯制備設備，其特征在于：所述石墨烯保護層為熱釋膠帶層。

7.根據權利要求1-6任一項所述的卷對卷石墨烯制備設備，其特征在于：所述輥系采用連續制動或脈沖式制動方式驅動所述石墨烯生長箔帶運動。

8.根據權利要求1-6任一項所述的卷對卷石墨烯制備設備，其特征在于：所述加熱裝置為與所述生長輥同軸設置的弧形加熱裝置，所述快速冷卻裝置為液氮冷卻裝置或水冷卻裝置，所述加熱裝置和快速冷卻裝置上均設有溫度傳感器。

9.根據權利要求1-6任一項所述的卷對卷石墨烯制備設備，其特征在于：所述真空泵組由機械泵與分子泵組成。

10.根據權利要求1-6任一項所述的卷對卷石墨烯制備設備，其特征在于：所述真空室內設有用于測量真空度的真空計。