[發明專利]測試分選機

有效

• 申請號: 201210558805.9
• 申請日: 2012-12-20
• 公開（公告）號: CN103185857A
• 公開（公告）日: 2013-07-03
• 發明（設計）人: 羅閏成;黃正佑;劉晛準
• 申請（專利權）人: 泰克元有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28;B07C5/00;B07C5/02
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286
• 代理人: 韓明星;郭鴻禧

1.一種測試分選機，其特征在于，包括：

測試托盤，在經過裝載位置、測試位置以及卸載位置而再次連接到裝載位置的預定的循環路徑上循環，且能夠安置多個半導體元件；

裝載裝置，當所述測試托盤位于裝載位置時，將多個半導體體元件裝載到測試托盤；

均熱室，設置成對借助所述裝載裝置完成裝載而以安置于所述測試托盤的狀態移送過來的多個半導體元件進行預熱或者預冷；

測試室，設置成收容從所述均熱室移送過來的M個測試托盤，并將安置于所述M個測試托盤的多個半導體元件電連接到測試器；

推動裝置，設置成通過將所述M個測試托盤緊貼到測試器側而將安置于所述M個測試托盤的多個半導體元件電連接到測試器側；

退均熱室，設置成使從所述均熱室移送過來的安置于所述測試托盤的多個半導體恢復到常溫；

卸載裝置，從由所述退均熱室移送到卸載位置的所述測試托盤卸載多個半導體元件，

所述推動裝置包括：

N個匹配板，設置成能夠沿測試器側的方向進退移動，以對安置在收容于所述測試室的M個測試托盤的多個半導體元件進行支撐而使多個半導體元件與測試器電連接，其中，N＝a×M，a為大于1的自然數；

支撐部件，設置成同時支撐所述N個匹配板，以使所述N個匹配板能夠同時沿測試器側的方向進退，且能夠與所述N個匹配板一起沿測試器側的方向進退移動；以及

驅動源，提供用于使所述支撐部件沿測試器側的方向進退移動的驅動力。

2.如權利要求1所述的測試分選機，其特征在于，所述N個匹配板中的至少一個匹配板包括：

支撐半導體元件的多個推動單元；

設置板，具有用于以矩陣形態設置所述多個推動單元的多個設置孔，

所述多個推動單元分別包括：

支撐半導體元件的推動器；

設置部件：前端相接于所述推動器，后端卡接于所述設置板的設置孔，其中，將測試器側的方向定義為前方向，與測試器側的方向相反的方向定義為后方向；

相互并排設置的多個結合部件，結合所述推動器和設置部件；

彈性部件，將所述推動器彈性支撐到設置板，

在以矩陣形態設置于所述設置板的所述多個推動單元中，靠近于相鄰的匹配板的列的多個推動單元的設置部件的后端與剩余的列的多個推動部件的設置部件的后端相比，沿一側方向的寬度窄。

3.如權利要求2所述的測試分選機，其特征在于，在以矩陣形態設置于所述設置板的所述多個推動單元中，靠近于相鄰的匹配板的列的多個推動單元的多個結合部件所布置的方向與剩余的列的多個推動部件的多個結合部件所布置的方向互不相同。

4.如權利要求3所述的測試分選機，其特征在于，在所述多個推動單元中，靠近于相鄰的匹配板的列的多個推動單元的多個結合部件所布置的方向與剩余的列的多個推動部件的多個結合部件所布置的方向相互垂直。

5.如權利要求1所述的測試分選機，其特征在于，所述N個匹配板中的至少一個匹配板包括：

支撐半導體元件的多個推動單元；

設置板，具有用于以矩陣形態設置所述多個推動單元的多個設置孔，

所述多個推動單元分別包括：

支撐半導體元件的推動器；

設置部件：前端相接于所述推動器，后端卡接于所述設置板的設置孔，其中，將測試器側的方向定義為前方向，與測試器側的方向相反的方向定義為后方向；

相互并排設置的多個結合部件，結合所述推動器和設置部件；

彈性部件，將所述推動器彈性支撐到設置板，

俯視時，在以矩陣形態設置于所述設置板的所述多個推動單元中，靠近于相鄰的匹配板的列的多個推動單元所具備的推動器的局部脫離所述設置板而朝相鄰的匹配板側突出。

6.如權利要求1所述的測試分選機，其特征在于，所述N個匹配板中的至少一個匹配板包括：

支撐半導體元件的多個推動單元；

設置板，具有用于以矩陣形態設置所述多個推動單元的多個設置孔，

所述多個推動單元分別包括：

支撐半導體元件的推動器；

設置部件：前端相接于所述推動器，后端卡接于所述設置板的設置孔，其中，將測試器側的方向定義為前方向，與測試器側的方向相反的方向定義為后方向；

相互并排設置的多個結合部件，結合所述推動器和設置部件；

彈性部件，將所述推動器彈性支撐到設置板，

俯視時，在以矩陣形態設置于所述設置板的所述多個推動單元中，靠近于相鄰的匹配板的列的多個設置孔的面積相比剩余的列的多個設置孔的面積窄。