[發(fā)明專利]準(zhǔn)分子激光器復(fù)合腔

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210558478.7
• 申請日: 2012-12-20
• 公開（公告）號: CN102969649A
• 公開（公告）日: 2013-03-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 周翊;單耀瑩;范元媛;宋興亮;張立佳;崔惠絨;王宇
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院光電研究院
• 主分類號: H01S3/08
• 分類號: H01S3/08;H01S3/10
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 宋焰琴

1.一種準(zhǔn)分子激光器復(fù)合腔，包括激光放電腔和激光輸出模塊，所述激光放電腔內(nèi)包含有工作氣體，該工作氣體在激勵源作用下能產(chǎn)生激光，其特征在于，還包括線寬壓窄模塊和激光放大模塊，其中，

所述激光放電腔、激光輸出模塊和線寬壓窄模塊構(gòu)成一個線寬壓窄腔，用于對所述工作氣體產(chǎn)生的激光進(jìn)行線寬壓窄；

所述激光放電腔、激光輸出模塊和激光放大模塊構(gòu)成一個放大腔，用于對所述經(jīng)線寬壓窄后的激光進(jìn)行能量放大；以及

所述激光輸出模塊用于將經(jīng)線寬壓窄且能量放大的激光進(jìn)行輸出。

2.如權(quán)利要求1所述的準(zhǔn)分子激光器復(fù)合腔，其特征在于，所述激光輸出模塊為一個輸出耦合鏡(2)，所述激光放電腔(1)具有兩端，所述輸出耦合鏡(2)設(shè)置于所述激光放電腔(1)的一端，所述線寬壓窄模塊和激光放大模塊設(shè)置于所述激光放電腔(1)的另一端。

3.如權(quán)利要求2所述的準(zhǔn)分子激光器復(fù)合腔，其特征在于，所述線寬壓窄模塊包括單個棱鏡(3)或棱鏡組，還包括光柵(5)，

所述單個棱鏡(3)或棱鏡組用于接收由激光放電腔(1)發(fā)出的激光，將該激光部分反射至所述放大腔，且對該激光的剩余部分進(jìn)行折射與擴(kuò)束后出射到所述光柵(5)；

所述光柵(5)用于以其閃耀角為入射角接收從單個棱鏡(3)或棱鏡組擴(kuò)束后出射的激光，使入射到其表面上的激光發(fā)生色散效應(yīng)，并使?jié)M足光柵閃耀條件的波長的激光按原路反射回去。

4.如權(quán)利要求3所述的準(zhǔn)分子激光器復(fù)合腔，其特征在于，所述激光放大模塊為反射鏡(4)，用于接收由所述單個棱鏡(3)或棱鏡組部分反射的激光，并將其原路反射回所述激光放電腔(1)中。

5.如權(quán)利要求4所述的準(zhǔn)分子激光器復(fù)合腔，其特征在于，當(dāng)所述線寬壓窄模塊包括單個棱鏡(3)時，該棱鏡(3)的入射面對于由所述激光放電腔發(fā)出的激光的反射率4.8％～24％。

6.如權(quán)利要求4所述的準(zhǔn)分子激光器復(fù)合腔，其特征在于，當(dāng)所述線寬壓窄模塊包括棱鏡組時，該棱鏡組包括依次在光路上排列的多個棱鏡，其中，用于接收由所述激光放電腔(1)發(fā)射的激光的第一個棱鏡將該激光部分反射至所述放大腔。

7.如權(quán)利要求6所述的準(zhǔn)分子激光器復(fù)合腔，其特征在于，所述第一個棱鏡的入射面對于由所述激光放電腔發(fā)出的激光的反射率4.8％～24％。

8.如權(quán)利要求3所述的準(zhǔn)分子激光器復(fù)合腔，其特征在于，所述放大腔還包括標(biāo)準(zhǔn)具(6)，其用于對入射其上的激光進(jìn)行線寬壓窄并透射具有特定中心波長的激光。

9.如權(quán)利要求8所述的準(zhǔn)分子激光器復(fù)合腔，其特征在于，所述標(biāo)準(zhǔn)具(6)用于直接接收由單個棱鏡(3)或棱鏡組部分反射的激光，并將透射過的激光入射到所述反射鏡(4)上。

10.如權(quán)利要求9所述的準(zhǔn)分子激光器復(fù)合腔，其特征在于，所述標(biāo)準(zhǔn)具(6)所透射的激光的光譜線的線寬與所述復(fù)合腔的線寬相同。