[發(fā)明專利]一種基于電容傳感器陣列的三維微接觸式測頭無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201210557826.9 | 申請日： | 2012-12-20 |
| 公開（公告）號： | CN103075951A | 公開（公告）日： | 2013-05-01 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 雷李華;蔡瀟雨;李源;吳俊杰;傅云霞;耿鋒;翁浚婧 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海市計量測試技術(shù)研究院 |
| 主分類號： | G01B7/00 | 分類號： | G01B7/00;B81B7/04 |
| 代理公司： | 上海浦東良風(fēng)專利代理有限責(zé)任公司 31113 | 代理人： | 陳志良 |
| 地址： | 201203 上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 基于 電容 傳感器 陣列 三維 接觸 式測頭 | ||
1.一種基于電容傳感器陣列的三維微接觸式測頭，所述的測頭由方形底板、電容傳感器陣列、十字梁和測針組成，其特征在于：所述的測頭有多個電容傳感單元，呈陣列式分布于方形底板上，測針連接在十字梁的中心連接體上，十字梁的懸臂與電容傳感器上極板相連，上極板通過微彈簧懸掛單元懸掛，所述上極板的懸掛采用若干個微彈簧實現(xiàn)，微彈簧不僅用于固定電容傳感器的上極板，還用于支撐十字梁和測針重量，由測針及十字梁組成的杠桿結(jié)構(gòu)將被測物的橫向位移放大并轉(zhuǎn)化為電容上極板的軸向位移，解決單個電容傳感器測量時橫向分辨力低的問題。
2.根據(jù)權(quán)利要求?1?所述的一種基于電容傳感器陣列的三維微接觸式測頭，其特征在于：所述上極板的懸掛采用4個微彈簧實現(xiàn)。
3.根據(jù)權(quán)利要求?1?所述的一種基于電容傳感器陣列的三維微接觸式測頭，其特征在于：采用4個電容傳感器組成圓周陣列作為敏感單元，同一方向上的兩個電容傳感器連接成差動方式，提高測頭靈敏度和抗干擾能力。
4.根據(jù)權(quán)利要求?1?所述的一種基于電容傳感器陣列的三維微接觸式測頭，其特征在于：所述的測頭有兩種裝配方式，根據(jù)不同的測量場合選擇支撐型或懸掛型裝配方式。
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