[發明專利]一種晶圓的分配系統及分配方法

有效

• 申請號: 201210557405.6
• 申請日: 2012-12-20
• 公開（公告）號: CN103886440B
• 公開（公告）日: 2017-06-27
• 發明（設計）人: 柳燕
• 申請（專利權）人: 上海華虹宏力半導體制造有限公司
• 主分類號: G06Q10/08
• 分類號: G06Q10/08;G06Q50/04
• 代理公司: 上海信好專利代理事務所(普通合伙)31249
• 代理人: 張靜潔,徐雯瓊

1.一種晶圓的分配系統，為各個產品的需求中針對同一種不同供貨來源的晶圓進行匹配，其特征在于，包含：

配額控制系統，通過接收生產計劃部門的系統所提供的晶圓月投片計劃，以及工藝整合部門的產品系統對于每個產品允許使用的晶圓種類、晶圓來源的限定要求，來對每個產品在各個可用來源處晶圓的領用配額進行設定和調整，使得各個產品的所述領用配額還能與各個可用來源的晶圓庫存量、預計進貨量以及其他產品對晶圓的領用需求也都相互匹配；

晶圓派發系統，其接收用戶每次通過領料系統所提出的晶圓領用需求，根據各個產品在各個可用來源處的領用配額，累計領用量和實時的庫存量，將對晶圓分配的計算結果反饋至所述領料系統，進而由倉庫根據該反饋信息發放相應種類、來源和數量的晶圓；所述晶圓派發系統還設置有記錄并顯示晶圓的實際領用量與所設定的領用配額之間差值的報告輸出模塊；

所述晶圓派發系統在接收到產品對其中一些可用來源有超出配額的晶圓領用需求時，通過該晶圓派發系統設置的超額處理模塊，從該產品的其他一些可用來源中選擇庫存最高的進行晶圓派發；任意一個產品在全部可用來源的配額已經用完還不能滿足需求時，置位一個超額標志；

所述超額處理模塊對按照各自剩余需求量從小到大排序的所有產品進行循環檢測，以及在任意一個產品的循環期間檢測到超額標志置位時，按庫存量從大到小排序的各個可用來源進行循環檢測，并且在每個可用來源的循環期間檢測到當前的剩余需求量大于零時，將當前的剩余需求量與庫存量中的最小值作為實際領用量，向用戶派發相應數量的晶圓。

2.一種晶圓的分配方法，使用如權利要求1所述的分配系統，為各個產品的需求中針對同一種不同供貨來源的晶圓進行匹配，其特征在于，

首先，根據生產計劃部門設定的晶圓月投片計劃，工藝整合部門對每個產品允許使用的晶圓來源的限定要求，各個可用來源的晶圓庫存量、預計進貨量以及其他產品對晶圓的領用需求，在配額控制系統中對每個產品在各個可用來源處晶圓的領用配額進行設定；

其次，在晶圓派發系統中對用戶每次的晶圓領用需求進行響應，根據以下的分配算法進行派發：

先對各個產品Pi進行循環，i的最大取值與產品的種類相對應；再對每個產品Pi的各個可用來源Vj進行循環，j的最大取值與晶圓來源的個數相對應：其中，當任意一個產品Pi循環到其中任意一個可用來源Vj的時候，

第一步，檢測當前產品Pi的剩余需求量Ri；若Ri>0不成立，說明不再需要投片，跳出對該來源Vj的循環；若Ri>0成立，說明還有投片需要，繼續進行第二步；

第二步，對產品Pi在該來源Vj處的累計領用量Sum_ij與領用配額Q_ij進行比較；若Sum_ij<Q_ij不成立，說明超過了領用配額而不能繼續在該來源Vj處進行領取，則設定這次響應中產品Pi在該來源Vj處的實際領用量F_ij＝0；若Sum_ij<Q_ij成立，說明沒有超過領用配額，繼續進行第三步；

第三步，對于當前的剩余需求量Ri，庫存量Sj，以及產品Pi在該來源Vj處領用配額的剩余量Q_ij-Sum_ij，選擇三者中的最小值作為后續向用戶派發晶圓時的有效發料量，記錄該有效發料量為這次響應中的實際領用量F_ij；

第四步，根據實際領用量F_ij，更新來源Vj處的庫存量Sj＝Sj-F_ij，剩余需求量Ri＝Ri-F_ij，和累計領用量Sum_ij＝Sum_ij+F_ij；然后循環至下一個來源；

其中，對任意一個產品Pi，當完成所有來源Vj的循環后，再次檢測當前的剩余需求Ri，若Ri>0不成立的，循環至下一個產品；

若Ri>0仍然成立的，說明該產品Pi在全部可用來源的配額已經用完還不能滿足需求，則需要置位超額標志使OverQti＝true，進一步通過超額處理模塊及以下的超額處理算法來解決：

步驟一，所述超額處理模塊將所有產品按照其各自的剩余需求量Ri從小到大排序，并循環檢測排序后的每個產品Pi；

步驟二，循環到每個產品Pi時，檢測其超額標志是否置位，若OverQti＝true不成立的，繼續檢測下一個產品；若OverQti＝true成立的，則將該產品Pi的各個可用來源Vj按庫存量Sj從大到小排序，并循環檢測排序后的每個來源Vj；

步驟三，循環到每個來源Vj時，檢測當前的剩余需求量Ri，

若Ri>0不成立的，說明不再需要投片，設定這次響應中產品Pi在該來源Vj處的實際領用量F_ij＝0；

若Ri>0成立的，選取剩余需求量Ri和庫存量Sj中的最小值作為實際領用量F_ij，向用戶派發相應數量的晶圓；

步驟四，更新剩余需求量Ri＝Ri-F_ij；然后循環至下一個來源；

步驟五，完成所有來源的循環后，再次檢測當前的有剩余需求量Ri，若Ri>0成立的，說明該產品所有可用來源處的晶圓斷料了，終止派發，發出相應的告警或提示命令；若Ri>0不成立的，說明該產品的需求處理完畢，循環至下一個產品。