[發明專利]氫氟酸灌裝系統

有效

• 申請號: 201210553002.4
• 申請日: 2012-12-19
• 公開（公告）號: CN103879944A
• 公開（公告）日: 2014-06-25
• 發明（設計）人: 吳建良;胡美艷
• 申請（專利權）人: 昆山晶科微電子材料有限公司
• 主分類號: B67C7/00
• 分類號: B67C7/00;B67C3/02;B67C3/26;B65G47/90;G05B19/05
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• 代理人: 暫無信息

1.氫氟酸灌裝系統，其特征在于：包括原料罐(1)、料槽(2)、灌裝機頭(4)、傳送帶裝置(5)、灌裝瓶(6)、瓶蓋機械手、位置感應器和控制器，所述原料罐(1)的出料口與料槽(2)的進料口之間通過硬質管路連通，在硬質管路上設置有流量泵(3)；所述料槽(2)的出料口與灌裝機頭(4)之間通過軟質管路連通；所述控制器包括流量泵控制模塊、傳送帶控制模塊、灌裝機頭上下運動控制模塊、灌裝機頭送料開關控制模塊、瓶蓋機械手上下運動控制模塊、瓶蓋機械手旋轉推進模塊和瓶蓋機械手取料模塊；

所述流量泵控制模塊用于控制流量泵(3)工作，將原料罐(1)內的氫氟酸輸送至料槽(2)內；

所述位置感應器用于感應灌裝瓶(6)是否到達灌裝位置或上瓶蓋位置，并將感應結果傳送給傳送帶控制模塊；

若灌裝瓶(6)到達灌裝位置，則傳送帶控制模塊控制傳送帶裝置(5)停止傳送，然后灌裝機頭上下運動控制模塊驅動灌裝機頭(4)向下運動至灌裝機頭(4)的出料口伸入到灌裝瓶(6)內，隨后灌裝機頭送料開關控制模塊控制灌裝機頭(4)向灌裝瓶(6)內送料至送料完成，最后灌裝機頭上下運動控制模塊驅動灌裝機頭(4)向上運動復位，傳送帶控制模塊控制傳送裝置(5)回復傳送；

若灌裝瓶(6)到達上瓶蓋位置，則傳送帶控制模塊控制傳送帶裝置(5)停止傳送，然后瓶蓋機械手上下運動控制模塊控制瓶蓋機械手向下運動至灌裝瓶(6)瓶口，然后瓶蓋機械手旋轉推進模塊控制瓶蓋機械手向下旋轉推進將瓶蓋蓋在灌裝瓶(6)上，隨后瓶蓋機械手上下運動控制模塊控制瓶蓋機械手向上運動至取瓶蓋處，瓶蓋機械手取料模塊控制瓶蓋機械手抓取瓶蓋后復位，傳送帶控制模塊控制傳送裝置(5)回復傳送。

2.根據權利要求1所述的氫氟酸灌裝系統，其特征在于：所述料槽(2)內設置有液位開關，所述液位開關對料槽內氫氟酸的液面高度進行檢測并將檢測結果發送給流量泵控制模塊，若液面高度低于最低位置則通過流量泵控制模塊驅動流量泵(3)向料槽(2)輸送氫氟酸，若液面高度高于最高位置則通過流量泵控制模塊停止流量泵(3)向料槽(2)輸送氫氟酸。

3.根據權利要求1所述的氫氟酸灌裝系統，其特征在于：所述控制器為基于可編程控制器和觸摸屏設計的人機互動控制系統。

4.根據權利要求1所述的氫氟酸灌裝系統，其特征在于：還包括放瓶機械手和取瓶機械手，所述控制器還包括放瓶機械手控制模塊和取瓶機械手控制模塊；所述放瓶機械手控制模塊控制放瓶機械手向傳送帶裝置(5)上放置空的灌裝瓶(6)，所述取瓶機械手控制模塊控制取瓶機械手從傳送帶裝置(5)上取走滿的灌裝瓶(6)。

5.根據權利要求1所述的氫氟酸灌裝系統，其特征在于：所述灌裝機頭(4)為氣動閥門結構，所述灌裝機頭送料開關控制模塊對氣動閥門的啟閉進行控制。