[發明專利]用于導線鍵合機的通用鍵合頭有效
| 申請號: | 201210552962.9 | 申請日: | 2012-12-18 |
| 公開(公告)號: | CN103199029A | 公開(公告)日: | 2013-07-10 |
| 發明(設計)人: | 鄭志華;梅文杰 | 申請(專利權)人: | 先進科技新加坡有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/607 | 分類號: | H01L21/607 |
| 代理公司: | 北京申翔知識產權代理有限公司 11214 | 代理人: | 周春發 |
| 地址: | 新加坡*** | 國省代碼: | 新加坡;SG |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 用于 導線 鍵合機 通用 鍵合頭 | ||
1.一種楔形導線鍵合機,其包含有:
楔頭,用于沿著換能器軸線振動,以將導線鍵合在表面上;
導線夾具,其包含有一對用于夾持導線的平行的夾持板體,該夾持板體具有大體垂直于換能器軸線定位的夾持表面;以及
側向引導體,其設置在導線的相對的側面,該側向引導體和導線主要平行于夾持板體的夾持表面對齊定位,以朝向楔頭引導導線。
2.如權利要求1所述的楔形導線鍵合機,其中該楔形導線鍵合機在使用中被配置來交替地接收具有圓形截面面積的導線和具有矩形截面面積的導線。
3.如權利要求2所述的楔形導線鍵合機,?其中具有矩形截面面積的導線具有平行的較長側面和平行的較短側面,夾持板體的夾持表面被設置來夾持該導線的平行的較長側面,而側向引導體被設置來接觸和引導該導線的平行的較短側面。
4.如權利要求1所述的楔形導線鍵合機,其中側向引導體可被調整來控制側向引導體的引導表面在平行于夾持板體的夾持表面的方向上的距離,以便于適應位于側向引導體之間的不同尺寸的導線。
5.如權利要求1所述的楔形導線鍵合機,其中導線夾具被操作來控制導線相對于楔頭的進給。
6.如權利要求1所述的楔形導線鍵合機,其中該夾持板體包含有:固定的夾持板體和活動的夾持板體,該活動的夾持板體可相對于固定的夾持板體移動。
7.如權利要求6所述的楔形導線鍵合機,其中活動的夾持板體被配置來在平行于換能器軸線的方向上移動,以便于夾持或釋放導線。
8.如權利要求6所述的楔形導線鍵合機,其中該側向引導體安裝在固定的夾持板體上。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





