[發明專利]一種制備InP薄膜材料的方法有效

申請號：	201210552726.7	申請日：	2012-12-19
公開（公告）號：	CN103159193A	公開（公告）日：	2013-06-19
發明（設計）人：	劉興泉;張銘菊	申請（專利權）人：	常州星海電子有限公司
主分類號：	C01B25/08	分類號：	C01B25/08
代理公司：	常州市維益專利事務所 32211	代理人：	何學成
地址：	213022 ***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種制備 inp 薄膜材料方法
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【權利要求書】：

1.一種制備InP薄膜材料的方法，其特征在于：以In₂O₃，P₂O₅以及還原萃取劑為原料，加入與固體原料質量50%~100%相當的無水乙醇，研磨均勻后，用10~15MPa的壓力將其壓成厚度為1~10mm的片材，然后將其放置于反應器剛玉坩堝中，用高純氮氣抽真空，置換到氧氣濃度為ppm級，然后再用混合氣體抽真空置換1~2次，抽真空至7~13Pa，控制升溫速度在5~10℃/min范圍內，反應區加熱升溫至1200℃~1250℃范圍內,沉積區加熱升溫至600℃~800℃范圍內，恒溫3~4h，其間保持真空度不小于-0.08MPa；當反應區溫度達到預定溫度后，自然降溫至室溫，充入混合氣體至常壓后，即得到灰黑色的InP薄膜。?

2.根據權利要求1所述的一種制備InP薄膜材料的方法，其特征在于:按摩爾比計:所述的In₂O₃:P₂O₅:還原萃取劑為:1.0:1.0:4.0～8.0。?

3.根據權利要求1或2所述的一種制備InP薄膜材料的方法，其特征在于：所述的還原萃取劑選用：活性炭、氫氣、氫氣-氬氣混合氣及碳氫化合物中的至少一種。?

4.根據權利要求1所述的一種制備InP薄膜材料的方法，其特征在于：所述的混合氣體為Ar與H₂的混合氣體，所述的H₂體積占混合氣體總體積的10%~30%。?

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