[發明專利]一種自測量壓電泵

無效

• 申請號: 201210551255.8
• 申請日: 2012-12-06
• 公開（公告）號: CN103016319A
• 公開（公告）日: 2013-04-03
• 發明（設計）人: 黃芳勝;闞君武;張忠華;馮麗娜;馬澤輝;金賢芳;章燕妮
• 申請（專利權）人: 浙江師范大學
• 主分類號: F04B43/04
• 分類號: F04B43/04;F04B51/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種自測量壓電泵，其特征在于：泵蓋和閥蓋分別通過螺釘安裝在泵體的兩側；在所述泵蓋和泵體之間通過密封圈壓接有壓電振子，在所述閥蓋和泵體之間粘接有懸臂梁型進口閥和出口閥；所述壓電驅動器、進口閥和出口閥均由壓電薄膜和基板粘接而成；所述壓電驅動器、泵體、出口閥及進口閥共同構成泵腔；所述進口閥、出口閥及壓電驅動器分別通過導線組一、導線組二及導線組三與電控單元相連。

2.根據權利要求1所述一種自測量壓電泵，其特征在于：可采用出口閥或進口閥的輸出電壓表征壓電泵輸出壓力和流量，即有：

P=[a4(1-b)2-2a(2a2-3a+2)(1-b)+1]3a(1-a)bg31hL2lpVg;]]>

Q=4(1-a+ab)L23a(1-a)bg31Eph2lqfVg;]]>

其中：a＝1-h_p/h，b＝E_m/E_p，h、L分別為壓電懸臂梁的總厚度和長度，h_p為壓電晶片厚度，g₃₁是壓電電壓常數，E_p和E_m分別是壓電材料和金屬基板的楊氏模量，l_p和l_q分別為壓力和流量的標定系數，f為驅動電壓頻率，V_g為出口閥或進口閥的輸出電壓。