[發明專利]探針卡和強制空氣冷卻探針頭組件

有效

• 申請號: 201210550621.8
• 申請日: 2006-07-25
• 公開（公告）號: CN102981029A
• 公開（公告）日: 2013-03-20
• 發明（設計）人: M.L.安德森;E.A.麥勞德;S.莫斯塔謝德;M.A.卡索洛
• 申請（專利權）人: 夸利陶公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 李晨;傅永霄

1.一種探針卡，通常被安裝成垂直于加熱的受測裝置以在測試過程中減少對探針卡的熱傳遞，所述探針卡包括：

a)?印刷電路板，

b)?尖端組件，其包括在電路板一端上用于接合受測裝置的多個探針尖端，

c)?在電路板的相對端上的多個電觸點，

d)?電路板上的導電圖形，其用于將電路板一端上的尖端電連接到電路板相對端上的電觸點，

e)?緊固件，其用于將受測裝置上方的支承件與大致垂直對準了受測裝置的印刷電路板相接合，其中，大致垂直的對準在測試過程中減少從加熱的受測裝置到印刷電路板的熱傳遞，和

f)?貫穿印刷電路板的多個開口，其用于促進冷卻空氣流動，以便冷卻探針卡。

2.如權利要求1所述的探針卡，其特征在于，受測裝置是半導體晶片。

3.如權利要求1或2所述的探針卡，其特征在于，尖端組件包括用于多個尖端的陶瓷支承件。

4.如權利要求1-3中任一項所述的探針卡，其特征在于，緊固件包括與支承件中的插口相匹配的突起連接件。

5.如權利要求1-4中任一項所述的探針卡，其特征在于，冷卻空氣從受測裝置上方的支承件流動。

6.如權利要求5所述的探針卡，其特征在于，支承件包括用于冷卻空氣流動的內部通道。

7.如權利要求6所述的探針卡，其特征在于，來自內部通道的冷卻空氣被導向貫穿印刷電路板的開口。

8.一種探針卡，通常被安裝成垂直于加熱的受測裝置并在加熱的受測裝置上方以在測試過程中減少對探針卡的熱傳遞，所述探針卡包括：

a)?印刷電路板，其被安裝成與受測裝置大致垂直對準，其中，印刷電路板包括貫穿印刷電路板的多個開口，其用于促進冷卻空氣流動，以便冷卻探針卡，

b)?尖端組件，其包括在電路板一端上用于接合受測裝置的多個探針尖端，

c)?在電路板的相對端上的多個電觸點，和

d)?電路板上的導電圖形，其用于將電路板一端上的探針尖端電連接到電路板相對端上的電觸點。

9.如權利要求8所述的探針卡，還包括緊固件，其用于接合受測裝置上方的支承件，其中，支承件包括用于冷卻空氣流動的內部通道和開口。

10.如權利要求9所述的探針卡，其特征在于，支承件中的開口將冷卻空氣流導向貫穿印刷電路板的開口。

11.如權利要求9或10所述的探針卡，其特征在于，支承件中的開口是成角度的。