[發明專利]薄膜太陽能電池退火裝置、銅銦鎵硒薄膜電池及銅鋅錫硫薄膜電池吸收層的制備方法

無效

• 申請號: 201210548283.4
• 申請日: 2012-12-17
• 公開（公告）號: CN103014651A
• 公開（公告）日: 2013-04-03
• 發明（設計）人: 羅海林;顧光一;楊春雷;鐘國華;肖旭東
• 申請（專利權）人: 深圳先進技術研究院;香港中文大學
• 主分類號: C23C14/58
• 分類號: C23C14/58;C23C14/06;H01L31/18
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 吳平

1.一種薄膜太陽能電池退火裝置，用于對基片上的金屬薄膜預制層進行硒化或者硫化，其特征在于，包括：

退火爐，為中空結構，其內部為密閉的退火腔；

基片架，設置于所述退火腔側壁上，所述基片可裝載于所述基片架上；

第一加熱燈管，其一端設置于所述退火腔側壁上，所述第一加熱燈管位于所述基片設置有金屬薄膜預制層的一側，所述第一加熱燈管與所述基片相互間隔，且所述第一加熱燈管與所述基片架所在平面平行，所述第一加熱燈管與所述基片架之間可相對運動。

2.根據權利要求1所述的薄膜太陽能電池退火裝置，其特征在于，所述第一加熱燈管與所述基片間的間隔小于5毫米。

3.根據權利要求1所述的薄膜太陽能電池退火裝置，其特征在于，所述第一加熱燈管一端固定于所述退火腔側壁上；所述薄膜太陽能電池退火裝置還包括水平滑軌及傳動裝置，所述水平滑軌固定于所述退火腔側壁上，所述傳動裝置可滑動地設置于所述水平滑軌中，所述基片架設置于所述傳動裝置上，所述傳動裝置可帶動所述基片架在水平方向上運動。

4.根據權利要求3所述的薄膜太陽能電池退火裝置，其特征在于，所述傳動裝置帶動所述基片架以0.3毫米/秒的速度在所述水平滑軌上運動。

5.根據權利要求1所述的薄膜太陽能電池退火裝置，其特征在于，所述基片架固定于所述退火腔側壁上；所述薄膜太陽能電池退火裝置還包括水平滑軌及傳動裝置，所述水平滑軌固定于所述退火腔側壁上，所述傳動裝置可滑動地設置于所述水平滑軌中，所述第一加熱燈管的一端設置于所述傳動裝置上，所述傳動裝置可帶動所述第一加熱燈管在水平方向上運動。

6.根據權利要求1所述的薄膜太陽能電池退火裝置，其特征在于，還包括第二加熱燈管，其一端設置于所述退火腔側壁上，所述第二加熱燈管位于所述基片遠離所述第一加熱燈管的一側，所述第二加熱燈管與所述基片相互間隔，且所述第二加熱燈管與所述基片架所在平面平行。

7.根據權利要求6所述的薄膜太陽能電池退火裝置，其特征在于，所述第二加熱燈管為多個，且所述多個第二加熱燈管在同一水平面上均勻分布。

8.根據權利要求1所述的薄膜太陽能電池退火裝置，其特征在于，所述第一加熱燈管為鹵素燈，其功率為1kW。

9.一種銅銦鎵硒薄膜電池吸收層制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

提供沉積有背電極層的襯底；

采用蒸鍍法或者濺射法，在所述背電極層上沉積銅、銦、鎵組成的金屬薄膜預制層；

在所述金屬薄膜預制層上蒸鍍一層硒，得到基片；

提供權利要求1至權利要求7任意一項所述的薄膜太陽能電池退火裝置，將所述基片裝載于基片架上；

使所述第一加熱燈管與所述基片間相對勻速運動，并使所述第一加熱燈管從所述基片設置有金屬薄膜預制層的一側的一端運動到另一端，以對所述基片表面均勻加熱，在所述背電極層上制得銅銦鎵硒薄膜電池吸收層。

10.一種銅鋅錫硫薄膜電池吸收層制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

提供沉積有背電極層的襯底；

采用蒸鍍法或者濺射法，在所述背電極層上沉積銅、鋅、錫組成的金屬薄膜預制層；

在所述金屬薄膜預制層上蒸鍍一層硫，得到基片；

提供權利要求1至權利要求7任意一項所述的薄膜太陽能電池退火裝置，將所述基片裝載于基片架上；

使所述第一加熱燈管與所述基片間相對勻速運動，并使所述第一加熱燈管從所述基片設置有金屬薄膜預制層的一側的一端運動到另一端，以對所述基片表面均勻加熱，在所述背電極層上制得銅鋅錫硫薄膜電池吸收層。