[發明專利]一種基于變柵距光柵透鏡的微型光譜儀有效
| 申請號: | 201210547862.7 | 申請日: | 2012-12-14 |
| 公開(公告)號: | CN103105230A | 公開(公告)日: | 2013-05-15 |
| 發明(設計)人: | 林慧;黎華;張國棟;歐紅師;丁海鵬;杜如虛 | 申請(專利權)人: | 中國科學院深圳先進技術研究院 |
| 主分類號: | G01J3/28 | 分類號: | G01J3/28;G01J3/02 |
| 代理公司: | 深圳市科進知識產權代理事務所(普通合伙) 44316 | 代理人: | 宋鷹武 |
| 地址: | 518055 廣東省深圳*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 基于 變柵距 光柵 透鏡 微型 光譜儀 | ||
1.一種基于變柵距光柵透鏡的微型光譜儀,用于對待測光信號進行光譜分析,其特征在于,包括:入射針孔、變柵距光柵、微凸透鏡、透明基板以及陣列光電探測器,其中,
所述變柵距光柵各條柵線的間距不等、形狀不同,所述微凸透鏡具有一凸面與一平面,所述變柵距光柵設置于所述微凸透鏡的凸面一側,所述微凸透鏡的平面與所述透明基板固定連接;
待測光信號從所述入射針孔入射,經過所述變柵距光柵后發生衍射,并進行像差校正,所述待測光信號被分為包含多種波長光的衍射光信號;
所述微凸透鏡對所述衍射光信號進行聚焦,聚焦后的衍射光信號通過所述透明基板匯聚在所述陣列光電探測器上形成光點,其中,所述衍射光信號中波長相同的光在所述陣列光電探測器上匯聚成一點,所述陣列光電探測器感測匯聚其上的光點。
2.根據權利要求1所述的基于變柵距光柵透鏡的微型光譜儀,其特征在于,所述透明基板為雙面透明。
3.根據權利要求1或2所述的基于變柵距光柵透鏡的微型光譜儀,其特征在于,所述透明基板的材質為熔融石英、K9光學玻璃、B270光學玻璃、聚甲基丙烯酸甲酯、聚碳酸酯中的一種。
4.根據權利要1所述的基于變柵距光柵透鏡的微型光譜儀,其特征在于,所述陣列光電探測器為電荷耦合器件陣列、互補金屬氧化物半導體、二極管陣列中的一種。
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