[發明專利]一種透明光學元件的快速激光預處理方法及裝置

無效

• 申請號: 201210547351.5
• 申請日: 2012-12-17
• 公開（公告）號: CN103008879A
• 公開（公告）日: 2013-04-03
• 發明（設計）人: 吳周令;陳堅;吳令奇
• 申請（專利權）人: 合肥知常光電科技有限公司
• 主分類號: B23K26/00
• 分類號: B23K26/00;B23K26/06;B23K26/42
• 代理公司: 合肥天明專利事務所 34115
• 代理人: 金凱

1.一種透明光學元件的快速激光預處理方法，其特征在于：包括以下步驟：

（1）、首先相對透明光學元件的表面設置一組前反射裝置，相對透明光學元件的背面設置一組后反射裝置；

（2）、將預處理激光光束入射到透明光學元件表面的處理點1進行輻照預處理，預處理激光光束穿透待處理樣品后從待處理樣品背面的處理點1’出射，出射后的激光光束經后反射裝置反射后再次照射到被處理樣品背面上的處理點2’,并穿透待處理樣品后從待處理樣品表面的處理點2出射，出射后的激光光束經前反射裝置反射后再次照射到被處理樣品表面上的處理點3；如此類推，預處理激光光束經前反射裝置和后反射裝置的相互反射作用，多次經過透明光學元件，對透明光學元件表面的N個處理點、背面的N個處理點和透明光學元件內部相應的兩個處理點之間預處理光束經過的區域均進行了輻照預處理，其中，N≥1。

2.一種透明光學元件的快速激光預處理裝置，包括有相對透明光學元件表面設置的激光光源，其特征在于：還包括有相對透明光學元件表面設置的一組前反射裝置和相對透明光學元件背面設置的一組后反射裝置。

3.根據權利要求2所述的一種透明光學元件的快速激光預處理裝置，其特征在于：所述的一組前反射裝置是由多個前反射子裝置組成，每個前反射子裝置是由一個或多個反射鏡或反射棱鏡組成；所述的一組后反射裝置是由多個后反射子裝置組成，每個后反射子裝置是由一個或多個反射鏡或反射棱鏡組成。

4.根據權利要求2所述的一種透明光學元件的快速激光預處理裝置，其特征在于：所述的透明光學元件的快速激光預處理裝置還包括有依次設置于激光光源的后端和透明光學元件表面之間的激光能量調整控制裝置、激光光束整形處理裝置和光學分光楔板，光學分光楔板的第一反射輸出端后設置有CCD成像系統，其第二反射輸出端后設置有分光裝置，分光裝置的兩分光輸出端后分別設置有光電探測器和激光能量測量系統。

5.根據權利要求2所述的一種透明光學元件的快速激光預處理裝置，其特征在于：所述的透明光學元件的快速激光預處理裝置還包括有相對透明光學元件表面或背面設置的激光光束吸收裝置。