[發明專利]一種微波法制備銅鋅錫硫薄膜的方法

有效

• 申請號: 201210546605.1
• 申請日: 2012-12-15
• 公開（公告）號: CN103050575A
• 公開（公告）日: 2013-04-17
• 發明（設計）人: 劉晶冰;張美娟;汪浩;侯育冬;朱滿康;王如志;張銘;宋雪梅;嚴輝
• 申請（專利權）人: 北京工業大學
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;C03C17/22
• 代理公司: 北京思海天達知識產權代理有限公司 11203
• 代理人: 劉萍

1.一種微波法制備銅鋅錫硫薄膜的方法，其特征在于步驟如下：

1).稱取二水氯化銅、氯化鋅、五水氯化錫和硫脲或硫代乙酰胺之一，其摩爾比為2:1:1:8;

2).在不斷攪拌條件下，在乙二醇中加入二水氯化銅，持續攪拌溶液，待溶質完全溶解后得到淡綠色溶液A；

3).?向溶液液A中加入氯化鋅，持續攪拌，待溶質完全溶解后得到綠色溶液B；

4).向溶液B中加入五水氯化錫，持續攪拌，得到綠色溶液，之后再加入硫脲或硫代乙酰胺之一，溶液由綠色轉變為紅棕色后又慢慢變為無色溶液C；

5).將FTO導電玻璃傾斜置于溶液C中,然后將其置于微波爐，微波工作頻率2.45GHZ，額定輸出功率700W微波20min—?1h，之后隨爐冷卻至室溫；

6).取出薄膜，依次用乙醇和蒸餾水清洗，即制得銅鋅錫硫薄膜。