[發明專利]一種導電互聯的方法

有效

• 申請號: 201210546509.7
• 申請日: 2012-12-17
• 公開（公告）號: CN103871957B
• 公開（公告）日: 2016-11-30
• 發明（設計）人: 陳征;林劍;崔錚
• 申請（專利權）人: 中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所
• 主分類號: H01L21/768
• 分類號: H01L21/768
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種導電互聯的方法，其特征在于，包括：

S1、在基底上布置透明氧化物導電層，獲得互不連通的兩導電塊；

S2、在兩導電塊及基底上覆蓋絕緣層；

S3、在對應兩導電塊上方的絕緣層區域制作穿通劑圖案；

S4、加熱處理穿通劑圖案，實現兩導電塊的導電互聯。

2.根據權利要求1所述的導電互聯的方法，其特征在于，還包括，

S5、在制作穿通劑圖案后的絕緣層上印刷半導體層。

3.根據權利要求1所述的導電互聯的方法，其特征在于，所述加熱處理為光波熱處理，所述光波的波長處于350-2000nm的范圍。

4.根據權利要求3所述的導電互聯的方法，其特征在于，所述光波為連續光，且光功率為1-5KW/cm²。

5.根據權利要求3所述的導電互聯的方法，其特征在于，所述光波為脈沖光，且脈寬為100μs-10ms、能量密度為5-100J/cm²。

6.根據權利要求3所述的導電互聯的方法，其特征在于，所述加熱處理時間為0.5?-1小時。

7.根據權利要求1所述的導電互聯的方法，其特征在于，所述制作穿通劑圖案具體為網版印刷、噴墨印刷、氣溶膠噴墨印刷、凹版印刷、膠印、凸版印刷、平版印刷、照相復印、熱轉移印刷、靜電復印中的一種。

8.根據權利要求7所述的導電互聯的方法，其特征在于，所述穿通劑為含銀穿通劑。

9.根據權利要求1所述的導電互聯的方法，其特征在于，所述絕緣層為氧化硅層、氧化鋁層、氮化硅層、氧化鋯層、氧化鉿層、鈦酸鋇層、氧化鈦層、氧化鈮層或者由它們的組合層；兩導電塊上的絕緣層厚度小于300nm；所述覆蓋絕緣層具體為旋涂、滴涂、棒涂、等離子增強化學氣相淀積、原子層淀積、陽極氧化中的一種。

10.根據權利要求1所述的導電互聯的方法，其特征在于，所述透明氧化物導電層由ITO、AZO、FTO或IZO中的一種構成；所述半導體層由ZnO、In2O3、IGZO、IZO、IGO、ZTO、IZTO中的一種構成。