[發(fā)明專利]一種鍍鎳廢液的二次利用方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210546304.9
• 申請日: 2012-12-17
• 公開（公告）號: CN103866301B
• 公開（公告）日: 2017-02-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 賀波;劉態(tài)銘;朱建凱;楊輝
• 申請（專利權(quán)）人: 中國振華集團(tuán)永光電子有限公司
• 主分類號: C23C18/36
• 分類號: C23C18/36
• 代理公司: 貴陽中新專利商標(biāo)事務(wù)所52100
• 代理人: 劉楠

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種鍍鎳廢液的二次利用方法，屬于半導(dǎo)體鍍鎳技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體生產(chǎn)中需要對硅片表面進(jìn)行鍍鎳，作為管芯與電極之間燒結(jié)的焊料，以便與硅形成良好的歐姆接觸。常用的鍍鎳方法一般有兩種，一種是采用酸性鍍鎳，另一種是堿性鍍液。

目前無論是采用酸性鍍鎳還是采用堿性鍍液，其鍍液只使用一次，剩余的廢鍍液就倒掉了，這些剩余的廢鍍液中含有有害物質(zhì)，按照環(huán)保要求是不能直接排入江河的，需要花費(fèi)大量的人力物力進(jìn)行處理之后符合環(huán)保要求之后才能排放，不但造成了資源浪費(fèi)，還增加了污水處理成本。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于，提供一種鍍鎳廢液的二次利用方法。使廢鍍液重新煥發(fā)活力，能夠再次使用，既右減少資源浪費(fèi)，也可降低污水處理成本。

本發(fā)明的技術(shù)方案：?

一種鍍鎳廢液的二次利用方法，該方法是在使用過的酸性鍍鎳廢液加入20-30%的酸性廢液恢復(fù)劑；或在使用過的堿性鍍鎳廢液中加入20-30%堿性廢液恢復(fù)劑；使廢液重新煥發(fā)活力作為新鍍液再次使用；酸性廢液恢復(fù)劑由硫酸鎳、次亞磷酸鈉、乙酸鈉加水配制而成；堿性廢液恢復(fù)劑由氯化鎳、氯化銨、檸檬酸三銨、次亞磷酸鈉加水配制而成。

前述方法中，所述酸性廢液恢復(fù)劑按以下重量份配制：硫酸鎳23-35份、次亞磷酸鈉16-24份、乙酸鈉7-11份和水800-1200份。

前述方法中，所述酸性廢液恢復(fù)劑按以下重量份配制：硫酸鎳29份、次亞磷酸鈉20份、乙酸鈉9份和水1000份。

前述方法中，所述堿性廢液恢復(fù)劑按以下重量份配制：氯化鎳26-40份、氯化銨43-65份、檸檬酸三銨54-80份、次亞磷酸鈉8-12份、水800-1200份。

前述方法中，所述堿性廢液恢復(fù)劑按以下重量份配制：氯化鎳33份、氯化銨54份、檸檬酸三銨67份、次亞磷酸鈉10份、水1000份。

前述方法中，所述堿性廢液恢復(fù)劑溫度≤40℃，與廢鍍液混合后配置的新鍍液溫度控制在62～68℃。

前述方法中，所述硫酸鎳、次亞磷酸鈉、乙酸鈉氯化鎳、氯化銨、檸檬酸三銨和次亞磷酸鈉均采用分析純以上原料。

前述方法中，所述配制過程中充分?jǐn)嚢杌旌暇鶆蚪?jīng)過濾后與鍍鎳廢液混合。

前述方法中，所述配制過程中充分?jǐn)嚢杌旌暇鶆蚪?jīng)過濾后與鍍鎳廢液混合；混合之前檢測PH值，通過氨水將PH調(diào)節(jié)在8～9之間。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明是在使用過的酸性鍍鎳廢液加入20-30%的酸性廢液恢復(fù)劑；酸性廢液恢復(fù)劑由硫酸鎳、次亞磷酸鈉、乙酸鈉加水配制而成。或在使用過的堿性鍍鎳廢液中加入20-30%堿性廢液恢復(fù)劑；堿性廢液恢復(fù)劑由氯化鎳、氯化銨、檸檬酸三銨、次亞磷酸鈉加水配制而成。使廢液重新煥發(fā)活力作為新鍍液再次使用。本發(fā)明利用廢鍍液通過添加廢液恢復(fù)劑生成新鍍液，不用再將使用過的剩余廢鍍液倒掉，既避免了資源浪費(fèi)，又降低了污水處理成本，取得了較好的有益效果。

具體實施方式

一種鍍鎳廢液的二次利用方法，該方法是在使用過的酸性鍍鎳廢液加入20-30%的酸性廢液恢復(fù)劑；或在使用過的堿性鍍鎳廢液中加入20-30%堿性廢液恢復(fù)劑；使廢液重新煥發(fā)活力作為新鍍液再次使用；酸性廢液恢復(fù)劑由硫酸鎳、次亞磷酸鈉、乙酸鈉加水配制而成；配制過程中充分?jǐn)嚢杌旌暇鶆蚪?jīng)過濾后與鍍鎳廢液混合。配制過程中充分?jǐn)嚢杌旌暇鶆蚪?jīng)過濾后與鍍鎳廢液混合；混合之前檢測PH值，通過氨水將PH調(diào)節(jié)在8～9之間。堿性廢液恢復(fù)劑由氯化鎳、氯化銨、檸檬酸三銨、次亞磷酸鈉加水配制而成。酸性廢液恢復(fù)劑按以下重量份配制：硫酸鎳23-35份、次亞磷酸鈉16-24份、乙酸鈉7-11份和水800-1200份。所述酸性廢液恢復(fù)劑最好按以下重量份配制：硫酸鎳29份、次亞磷酸鈉20份、乙酸鈉9份和水1000份。堿性廢液恢復(fù)劑按以下重量份配制：氯化鎳26-40份、氯化銨43-65份、檸檬酸三銨54-80份、次亞磷酸鈉8-12份、水800-1200份。所述堿性廢液恢復(fù)劑最好按以下重量份配制：氯化鎳33份、氯化銨54份、檸檬酸三銨67份、次亞磷酸鈉10份、水1000份。堿性廢液恢復(fù)劑溫度≤40℃，與廢鍍液混合后配置的新鍍液溫度控制在62～68℃。

在進(jìn)行配制時，所述硫酸鎳、次亞磷酸鈉、乙酸鈉氯化鎳、氯化銨、檸檬酸三銨和次亞磷酸鈉均采用分析純以上原料。