[發明專利]一種聚焦限位調節方法有效
| 申請號： | 201210546133.X | 申請日： | 2012-12-14 |
| 公開（公告）號： | CN103869634A | 公開（公告）日： | 2014-06-18 |
| 發明（設計）人： | 殷瑞騰 | 申請（專利權）人： | 北大方正集團有限公司;深圳方正微電子有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/207 | 分類號： | G03F7/207 |
| 代理公司： | 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291 | 代理人： | 黃志華 |
| 地址： | 100871 北京市*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 聚焦 限位 調節 方法 | ||
1.一種聚焦限位調節方法，應用于一帶有顯示單元的曝光機臺中，其特征在于，所述方法包括：
檢測所述曝光機臺的硬件限位開關是否從第一位置轉換到第二位置，其中，所述第二位置比所述第一位置的限位范圍大；
當所述硬件限位開關位于所述第二位置時，檢測是否有第一動作，其中，所述第一動作為用于手動調節驅動電壓值時壓到所述硬件限位開關的動作；
當檢測到所述第一動作時，在所述顯示單元顯示所述第一動作對應的驅動電壓；
當檢測到有第二動作時，響應所述第二動作，生成第一命令，其中，所述第二動作為請求進入命令編輯狀態的動作；
執行所述第一命令，寫入所述驅動電壓對應的軟件限位值。
2.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述當檢測到所述第一動作時，在所述顯示單元顯示所述第一動作對應的驅動電壓，具體包括：
當檢測到所述第一動作時，生成第二命令；
執行所述第二命令，生成與所述第一動作對應的驅動電壓；
輸出所述驅動電壓，以使在所述顯示單元顯示所述驅動電壓。
3.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述執行所述第一命令，寫入所述驅動電壓對應的軟件限位值，具體包括：
執行所述第一命令，接收所述驅動電壓對應的軟件限位值；
執行寫入命令，寫入所述軟件限位值。
4.如權利要求1-3中任一權項所述的方法，其特征在于，在所述執行所述第一命令，寫入所述驅動電壓對應的軟件限位值之后，所述方法還包括：
當檢測到有第三動作時，響應所述第三動作，生成第一復位指令，其中所述第三動作為用于復位所述軟件的動作；
執行所述第一復位指令，以使所述曝光機臺恢復到軟件復位狀態。
5.如權利要求4所述的方法，其特征在于，在所述執行所述第一復位指令，以使所述曝光機臺恢復到所述軟件復位狀態之后，所述方法還包括：
當檢測到有第四動作時，響應所述第四動作，生成第二復位指令，其中，所述第四動作為用于復位所述曝光機臺的動作；
執行所述第二復位指令，以使所述曝光機臺恢復到可以曝光的狀態。
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