[發(fā)明專利]一種用于極紫外光源的高熔點材料液滴靶產(chǎn)生裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210545951.8
• 申請日: 2012-12-14
• 公開（公告）號: CN103042221A
• 公開（公告）日: 2013-04-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳鴻;王新兵;朱海紅;左都羅;陸培祥
• 申請（專利權(quán)）人: 華中科技大學(xué)
• 主分類號: B22F9/08
• 分類號: B22F9/08
• 代理公司: 華中科技大學(xué)專利中心 42201
• 代理人: 朱仁玲

1.一種用于極紫外光源的高熔點材料液滴靶產(chǎn)生裝置，其特征在于，包括激光、透鏡、顆粒進(jìn)料裝置、噴嘴和管道，

所述激光與所述噴嘴同軸，并通過所述透鏡聚焦進(jìn)入所述噴嘴，用于加熱進(jìn)入所述噴嘴的靶材固體顆粒；

所述顆粒進(jìn)料裝置通過所述管道與所述噴嘴連接，用于將靶材固體顆粒連續(xù)勻速投送至所述噴嘴；當(dāng)所述靶材固體顆粒進(jìn)入所述噴嘴后，所述激光對所述靶材固體顆粒進(jìn)行加熱并使其熔化成液體，所述液體通過噴嘴噴出并形成均勻液滴靶。

2.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述噴嘴為管狀噴嘴。

3.如權(quán)利要求1或2所述的裝置，其特征在于，所述噴嘴包括進(jìn)料口，進(jìn)光口和出料口；

所述進(jìn)料口用于與所述管道連接；所述進(jìn)光口采用激光高透過率鏡片密封，用于透射激光；所述出料口為尖細(xì)的噴孔，所述液體通過所述噴孔噴出。

4.如權(quán)利要求3所述的裝置，其特征在于，所述噴孔的孔徑大小為10-100um。

5.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述顆粒進(jìn)料裝置包括：傳送帶、均勻排布于傳送帶上的靶材固體顆粒、轉(zhuǎn)盤以及均勻排布于轉(zhuǎn)盤上的齒輪；

傳送帶帶動靶材固體顆粒勻速運(yùn)動；轉(zhuǎn)盤帶動齒輪勻速轉(zhuǎn)動；當(dāng)靶材固體顆粒運(yùn)動至管道的管口處時，齒輪運(yùn)動至管口處并將所述靶材固體顆粒推入管道。

6.如權(quán)利要求5所述的裝置，其特征在于，所述轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動的速度N、轉(zhuǎn)盤上的齒輪數(shù)X、靶材固體顆粒間隔D和傳送帶的運(yùn)動速度V之間滿足關(guān)系k為正整數(shù)。

7.如權(quán)利要求6所述的裝置，其特征在于，通過調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動的速度來改變靶材固體顆粒的輸送頻率。

8.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述顆粒進(jìn)料裝置包括：儲存室、靶材固體顆粒和開關(guān)；

所述儲存室通過管道與噴嘴連接，開關(guān)位于所述管道上，所述靶材固體顆粒由儲存室流入管道并均勻排列在管道內(nèi)，所述開關(guān)周期性工作使得所述靶材固體顆粒連續(xù)勻速投送至所述噴嘴中。

9.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述裝置放置于真空環(huán)境中；所述噴嘴、管道和所述顆粒進(jìn)料裝置中持續(xù)補(bǔ)充恒定氣壓的氮?dú)饣驓錃狻?/p>

10.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述靶材固體顆粒材料為Tb或Gd。