[發明專利]搬運機器人和包括搬運機器人的設備前端模塊

有效

• 申請號: 201210544862.1
• 申請日: 2012-12-14
• 公開（公告）號: CN103448055A
• 公開（公告）日: 2013-12-18
• 發明（設計）人: 古市昌稔;鈴木雅之
• 申請（專利權）人: 株式會社安川電機
• 主分類號: B25J9/00
• 分類號: B25J9/00;B25J19/00;B65G49/07;H01L21/677
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 黨曉林;王小東

技術領域

本文所公開的實施方式涉及搬運機器人和包括搬運機器人的設備前端模塊。

背景技術

常規上，已知有一種搬運機器人，該搬運機器人設置在形成于設備前端模塊（EFEM）中的空間內并且搬運諸如半導體晶片的基板。

搬運機器人通常包括臂主體，并且例如通過在由臂主體保持基板的情況下沿水平方向移動臂主體以及移動設置在臂主體的末端部處的末端執行器來搬運基板。臂主體自身通常由能夠執行升降操作的升降單元來支承。

因為諸如半導體晶片的產品在EFEM中被操縱，因此特別需要保持EFEM內的空氣極其清潔。因此，通常從EFEM的上部產生清潔空氣的向下流，然而，還是提出通過利用附加方法來防止被顆粒物污染的各種搬運機器人。

例如，提出一種這樣的搬運機器人，該搬運機器人通過利用罩構件覆蓋包括上述的臂主體和升降單元的搬運單元來防止由向下流的擾動而分散的顆粒物的附著（例如，參見日本專利特開公報H10-261690）。

然而，常規的搬運機器人在抑制由升降操作產生的顆粒物方面具有進一步改進的余地。具體地，當搬運機器人具有其中上述升降單元借助從搬運機器人的主體單元（以下文中，描述為“基部單元”）突出而升降的結構時，基板可能被因升降操作從基部單元的內部分散的顆粒物污染。

考慮到以上內容獲得實施方式的一方面，并且實施方式的一方面的目的在于提供一種搬運機器人和包括該搬運機器人的設備前端模塊，所述搬運機器人能夠抑制因升降操作而產生顆粒物。

發明內容

根據實施方式的一方面的搬運機器人包括：臂單元、基部單元、引導單元、升降單元以及通風部。所述臂單元包括機器人手，所述機器人手能夠保持待被搬運的物體。所述基部單元形成為大體盒形形狀。所述引導單元包括豎直地設置在所述基部單元中的豎直軸。所述升降單元設置成能夠沿著所述豎直軸升降并且在上端部處支承所述臂單元。所述通風部在所述基部單元的上表面中開口，并且將向下流從所述基部單元的外部引至其內部。

根據實施方式的一方面，能夠抑制因升降操作而產生顆粒物。

附圖說明

由于通過結合附圖參照下列詳細說明更好地理解對本發明的更全面的認識以及本發明的許多附帶優點，因此能夠容易地獲得對本發明的更全面的認識以及本發明的許多附帶優點，在附圖中：

圖1是示出根據一實施方式的搬運機器人的整體構造的示意性立體圖；

圖2A是從上方所看的基部單元的第一示意圖；

圖2B是示出從側表面所看的常規技術和當前實施方式之間的對比的示意圖；

圖2C是從上方所看的基部單元的第二示意圖；

圖3A是從Y軸的正向所看的基部單元的內部示意圖；

圖3B是從Y軸的負向所看的基部單元的示意圖；

圖4A是從X軸的正向所看的基部單元的內部示意圖；

圖4B是從上方所看的基部單元的示意圖，用于說明在表面A側的通風部的寬度；以及

圖5是從X軸的正向所看的基部單元的內部示意圖，示出了所引入的向下流的流路。

具體實施方式

在下文中，將參照附圖詳細地說明在本申請中公開的搬運機器人和包括搬運機器人的設備前端模塊的實施方式。本發明不局限于下列實施方式。

在下文中，以設置在EFEM中并且搬運作為待搬運物體的半導體晶片的搬運機器人為例進行說明。此外，“半導體晶片”被描述為“晶片”。而且，作為末端執行器的“機器人手”被描述為“手”。

首先，將參照圖1說明根據一實施方式的搬運機器人的構造。圖1是示出根據該實施方式的搬運機器人10的構造的示意性立體圖。

為了便于理解說明，在圖1中，示出了包括Z軸的三維卡笛爾坐標系，在該Z軸中，正向為豎直向上方向，負向為豎直向下方向。因此，沿著XY平面的方向表示“水平方向”。在一些情況下，在用于下文說明的其它圖中也示出該卡笛爾坐標系。

而且，在下文中，對于由多個元件組成的部件，這些元件中的僅一個元件被標以附圖標記，并且在一些情況下省略其它元件的附圖標記。在該情況下，標記有附圖標記的那個元件以及其它元件具有相同的構造。

如圖1所示，搬運機器人10包括手11、升降單元12、第一臂13、第二臂14和基部單元15。基部單元15包括通風部15a和排風部15b。

第一臂13和第二臂14構成作為搬運機器人10的臂的臂單元。