[發明專利]一種基于穆勒矩陣的套刻誤差提取方法

有效

• 申請號: 201210544767.1
• 申請日: 2012-12-13
• 公開（公告）號: CN103049605A
• 公開（公告）日: 2013-04-17
• 發明（設計）人: 劉世元;朱金龍;董正瓊;石雅婷
• 申請（專利權）人: 華中科技大學
• 主分類號: G06F17/50
• 分類號: G06F17/50
• 代理公司: 華中科技大學專利中心 42201
• 代理人: 曹葆青

1.一種基于穆勒矩陣的套刻誤差提取方法，包括下述過程：

第1步確定套刻偏移量的取值范圍，設定為-Λ/2～Λ/2，Λ為套刻樣件的周期大小；

第2步將范圍-Λ/2～Λ/2等距離散成M個點，對每個點計算對應額穆勒矩陣，則M個套刻偏移量值分別對應著M個不同的穆勒矩陣，即有套刻偏移量集合{O₁，O₂，...，O_M}；

第3步對套刻偏移量集合{O₁，O₂，...，O_M}中的M個套刻偏移量值分別對應著的M個不同的穆勒矩陣中M13、M31、M23和M32元素在所有波長點下的值求和，和值分別記為S_M13、S_M31、S_M23和S_M32；則得到M個S_M13、S_M31、S_M23和S_M32，將S_M13與S_M31一一對應相加，將S_M23和S_M32一一對應相加，則得到兩個集合{S¹_M13+S¹_M31，S²_M13+S²_M31，...，S^M_M13+S^M_M31}和{S¹_M23+S¹_M32，S²_M23+S²_M32，...，S^M_M23+S^M_M32}；

第4步將集合{O₁，O₂，...，O_M}和{S¹_M13+S¹_M31，S²_M13+S²_M31，...，S^M_M13+S^M_M31}中每一元素一一對應組成M個點{(O₁，S¹_M13+S¹_M31)，(O₂，S²_M13+S²_M31)，...，(O_M，S^M_M13+S^M_M31)}，在笛卡爾坐標系中描繪這些點并一一連接起來，找到一段直線區間，分別記為L_M13+M31，這段直線在x坐標上對應的線性范圍分別為Λ_M13+M31¹～Λ_M13+M31²；同樣地，將集合{O₁，O₂，...，O_M}和{S¹_M23+S¹_M32，S²_M23+S²_M32，...，S^M_M23+S^M_M32}中每一元素一一對應組成M個點{(O₁，S¹_M23+S¹_M32)，(O₂，S²_M23+S²_M32)，...，(O_M，S^M_M23+S^M_M32)}，在笛卡爾坐標系中描繪這些點并一一連接起來，得到另一段直線，記為L_M23+M32，確定這段線性區間在x坐標上對應的線性范圍，即Λ_M23+M32¹～Λ_M23+M32²；

第5步設計并制作具有某一名義偏移量O_nom的套刻樣件，并使設計套刻偏移量處于范圍Λ_M13+M31¹～Λ_M13+M31²或Λ_M23+M32¹～Λ_M23+M32²的任意一個之中；

第6步對套刻樣件測量其穆勒矩陣，分別計算M13、M31、M23和M32元素中所有波長點下的值之和，分別記作S^mea_M13，S^mea_M31、S^mea_M23和S^mea_M32；

第7步首先利用S^mea_M13+S^mea_M31值在直線段L_M13+M31上找到對應的點，找到的點坐標記為(O₁^mea，S^mea_M13+S^mea_M31)，O₁^mea即為真實偏移量值O_real。或者利用S^mea_M23+S^mea_M32值在直線段L_M23+M32上找到對應的點，找到的點坐標記為(O₂^mea，S^mea_M23+S^mea_M32)，O₂^mea即為真實偏移量值O_real；

第8步用真實偏移量值O_real減去名義設計的偏移量值O_nom，即得到套刻誤差δ。