[發(fā)明專利]PECVD鍍膜裝置及其射頻電源與真空腔體的連接裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210544019.3
• 申請日: 2012-12-14
• 公開（公告）號: CN103014660A
• 公開（公告）日: 2013-04-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉高水;陳宇
• 申請（專利權(quán)）人: 廣東志成冠軍集團有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

1.一種PECVD鍍膜裝置，包括真空腔體和射頻電源，其特征在于，所述真空腔體與所述射頻電源之間設(shè)置連接裝置，所述連接裝置拆卸式固定在所述真空腔體外部，所述連接裝置包括屏蔽套，在所述屏蔽套內(nèi)設(shè)置絕緣套，所述絕緣套內(nèi)設(shè)置引入電極，所述引入電極的一端伸入到所述真空腔體內(nèi)，另一端與所述射頻電源輸出端連接的匹配器的匹配器入口接頭可拆卸式連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的PECVD鍍膜裝置，其特征在于，所述真空腔體上設(shè)置用于所述引入電極穿過的電極孔，所述電極孔一側(cè)沿著所述真空腔體外部延伸有連接管，所述連接管遠離所述電極孔的一端設(shè)置第一連接法蘭。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的PECVD鍍膜裝置，其特征在于，所述屏蔽套內(nèi)部鏤空，其第一端開口，第二端設(shè)置有第一封板，所述第一連接法蘭設(shè)置在所述屏蔽套的第一端內(nèi)，所述第一連接法蘭一側(cè)、所述屏蔽套的第一端內(nèi)部設(shè)置與所述第一連接法蘭相匹配的第二連接法蘭，所述第一連接法蘭與第二連接法蘭通過第三螺釘連接為一體。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的PECVD鍍膜裝置，其特征在于，所述第一連接法蘭與第二連接法蘭中部均設(shè)置有所述引入電極穿過的通孔，且所述引入電極不與所述第一連接法蘭、第二連接法蘭接觸，所述第一連接法蘭與第二連接法蘭之間、所述引入電極上設(shè)置用于對所述真空腔體進行密封的金屬密封圈。

5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的PECVD鍍膜裝置，其特征在于，所述絕緣套內(nèi)部鏤空，其第一端開口，第二端設(shè)置有第二封板，所述第二連接法蘭遠離所述第一連接法蘭的一端設(shè)置在所述絕緣套的第一端內(nèi)，所述第二連接法蘭遠離所述第一連接法蘭的一端、所述絕緣套內(nèi)燒結(jié)有第一連接環(huán)，所述第一連接環(huán)遠離所述第二連接法蘭的一端燒結(jié)有第二連接環(huán)，所述第二連接環(huán)燒結(jié)在與所述引入電極上，使所述第二連接環(huán)與所述引入電極呈一體式設(shè)置。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的PECVD鍍膜裝置，其特征在于，所述絕緣套和屏蔽套上設(shè)置維修部，所述維修部包括設(shè)置在所述絕緣套和屏蔽套上的維修槽，所述維修槽處、由所述絕緣套內(nèi)部向外依次拆卸式設(shè)置絕緣板、屏蔽板，所述屏蔽板遠離所述絕緣板的一側(cè)設(shè)置維修固定板，所述維修固定板通過第二螺釘固定在屏蔽套上。

7.根據(jù)權(quán)利要求1～4任一所述的PECVD鍍膜裝置，其特征在于，所述引入電極與匹配器入口接頭通過連接螺帽連接為一體，在所述連接螺帽的一側(cè)、所述引入電極上設(shè)置用于緊固所述連接螺帽的并緊螺帽。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的PECVD鍍膜裝置，其特征在于，所述屏蔽套的第一端通過第四螺釘與所述第一連接法蘭外圍連接，所述屏蔽套的第二端遠離第一端的一側(cè)拆卸式設(shè)置用于固定所述匹配器入口接頭的第三連接法蘭。

9.一種PECVD鍍膜裝置的射頻電源與真空腔體的連接裝置，其特征在于，包括屏蔽套，在所述屏蔽套內(nèi)設(shè)置絕緣套，所述絕緣套內(nèi)設(shè)置引入電極，所述引入電極具有伸入到真空腔體內(nèi)的第一端和與射頻電源輸出端連接的匹配器的匹配器入口接頭連接的第二端。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的連接裝置，其特征在于，所述屏蔽套和絕緣套上設(shè)置維修部，所述維修部包括設(shè)置在所述絕緣套和屏蔽套上的維修槽，所述維修槽處、由所述絕緣套內(nèi)部向外依次拆卸式設(shè)置絕緣板、屏蔽板，所述屏蔽板遠離所述絕緣板的一側(cè)設(shè)置維修固定板，所述維修固定板通過第二螺釘固定在屏蔽套上。