[發(fā)明專利]太陽能硅片及電池片缺陷檢測系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210539390.0
• 申請日: 2012-12-13
• 公開（公告）號: CN103871919A
• 公開（公告）日: 2014-06-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王利順;陳利平;裴世鈾;李波
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州中導(dǎo)光電設(shè)備有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66
• 代理公司: 昆山四方專利事務(wù)所 32212
• 代理人: 盛建德

1.一種太陽能硅片及電池片缺陷檢測系統(tǒng)，其特征是：包括機架、樣品放置平臺、處理器（12）、少子壽命檢測模塊（1）、圖像采集系統(tǒng)（4）和激光照明系統(tǒng)（5），所述少子壽命檢測模塊（1）、圖像采集系統(tǒng)（4）和激光照明系統(tǒng)（5）分別固設(shè)于機架上，樣品放置平臺包括固定于機架上的導(dǎo)軌（3）和能夠沿導(dǎo)軌（3）滑動的光致熒光檢測平臺（2）及電致熒光檢測平臺（7），所述光致熒光檢測平臺（2）上設(shè)有少子壽命探測器（10），該少子壽命探測器（10）傳信于處理器（12），所述電致熒光檢測平臺（7）上設(shè)有能夠給樣品（11）施加直流電源的加電裝置（16），且該加電裝置（16）、樣品（11）和電致熒光檢測平臺（7）能夠形成一個導(dǎo)電回路，少子壽命檢測模塊（1）能夠朝位于設(shè)定位置的光致熒光檢測平臺（2）上的樣品（11）發(fā)射閃光，激光照明系統(tǒng)（5）能夠朝光致熒光檢測平臺（2）和電致熒光檢測平臺（7）之一上的樣品（11）發(fā)射激光，圖像采集系統(tǒng)（4）能夠采集處于設(shè)定位置的樣品（11）發(fā)出的熒光圖像并傳信給處理器（12）進行分析和處理。

2.如權(quán)利要求1所述的太陽能硅片及電池片缺陷檢測系統(tǒng)，其特征是：所述光致熒光檢測平臺（2）和電致熒光檢測平臺（7）采用聯(lián)動定位的機械結(jié)構(gòu)。

3.如權(quán)利要求2所述的太陽能硅片及電池片缺陷檢測系統(tǒng)，其特征是：所述導(dǎo)軌（3）上設(shè)有可調(diào)節(jié)限位環(huán)（9），該可調(diào)節(jié)限位環(huán)（9）與光致熒光檢測平臺（2）和電致熒光檢測平臺（7）能夠拆卸固定連接，并將光致熒光檢測平臺（2）和電致熒光檢測平臺（7）之一固定于設(shè)定位置。

4.如權(quán)利要求1所述的太陽能硅片及電池片缺陷檢測系統(tǒng)，其特征是：所述電致熒光檢測平臺（7）與真空發(fā)生器連接，真空發(fā)生器能夠使電致熒光檢測平臺（7）與樣品（11）之間產(chǎn)生真空。

5.如權(quán)利要求1所述的太陽能硅片及電池片缺陷檢測系統(tǒng)，其特征是：所述電致熒光檢測平臺（7）上的加電裝置（16）為三條探針條，該三條探針能夠與樣品（11）緊密接觸。

6.如權(quán)利要求5所述的太陽能硅片及電池片缺陷檢測系統(tǒng)，其特征是：還設(shè)有探針架（6），三條探針能夠拆卸固定于探針架（6）上，探針架（6）與電致熒光檢測平臺（7）鉸接連接，還設(shè)有一鎖緊機構(gòu)（8），該鎖緊機構(gòu)（8）能夠?qū)⑸w板與電致熒光檢測平臺（7）鎖緊固定。

7.如權(quán)利要求6所述的太陽能硅片及電池片缺陷檢測系統(tǒng)，其特征是：還設(shè)有氣壓彈簧，氣壓彈簧的兩端分別與電致熒光檢測平臺（7）和探針架（6）側(cè)壁固定連接。

8.如權(quán)利要求1所述的太陽能硅片及電池片缺陷檢測系統(tǒng)，其特征是：所述激光照明系統(tǒng)（5）包括控制激光器（14）和激光照明鏡頭，所述控制激光器（14）能夠接收處理器（12）命令發(fā)射激光給激光照明鏡頭，激光照明鏡頭內(nèi)依次設(shè)有光束整形光管、聚焦鏡頭和光斑調(diào)整裝置。

9.如權(quán)利要求1所述的太陽能硅片及電池片缺陷檢測系統(tǒng)，其特征是：所述圖像采集系統(tǒng)（4）為CCD相機。

10.如權(quán)利要求1所述的太陽能硅片及電池片缺陷檢測系統(tǒng)，其特征是：所述加電裝置（16）施加的直流電源為二象限可編程直流電源。