[發明專利]沉積薄膜的裝置和方法

有效

• 申請號: 201210535035.6
• 申請日: 2012-12-12
• 公開（公告）號: CN103008168A
• 公開（公告）日: 2013-04-03
• 發明（設計）人: 李朝暉;宋秋明;張軍;顧光一;肖旭東
• 申請（專利權）人: 深圳先進技術研究院;香港中文大學
• 主分類號: B05C5/00
• 分類號: B05C5/00;H01L31/18
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 劉誠;吳平

1.一種薄膜沉積裝置，其特征在于，包括：

沉積裝置，包括上蓋和襯底，所述上蓋與所述襯底之間形成用于承裝溶液的沉積室；

加熱系統，包括承載熱液的熱液承載裝置和與所述熱液承載裝置相連的用于加熱熱液的加熱裝置，所述襯底固定在所述熱液承載裝置上，且所述熱液承載裝置內的熱液與所述襯底的一個表面相接觸；及

反應液供應裝置，包括反應液承載裝置和進料管，所述進料管的一端與所述反應液承載裝置連通，另一端穿過所述上蓋，用于將所述反應液承載裝置中的反應液輸送至所述襯底的另一個表面上。

2.根據權利要求1所述的薄膜沉積裝置，其特征在于，還包括清洗裝置，所述清洗裝置包括清洗液承載裝置和與所述清洗液承載裝置相連的清洗液輸送管道，所述清洗液輸送管道穿過所述上蓋后與所述襯底相對，用于將所述清洗液承載裝置內的清洗液噴淋到所述襯底上。

3.根據權利要求1所述的薄膜沉積裝置，其特征在于，還包括與所述熱液承載裝置相連的搖晃裝置，用于搖晃所述熱液承載裝置以使反應液充分混合并與所述襯底充分接觸。

4.根據權利要求1所述的薄膜沉積裝置，其特征在于，所述反應液供應裝置還包括溶液量取器和連通所述溶液量取器與所述反應液承載裝置的連通管。

5.根據權利要求1所述的薄膜沉積裝置，其特征在于，所述加熱裝置還包括熱液加熱裝置和液體泵，所述液體泵驅動熱液在所述熱液加熱裝置與所述熱液承載裝置之間循環。

6.根據權利要求1所述的薄膜沉積裝置，其特征在于，所述沉積裝置中設置監測所述襯底的溫度的測溫元件。

7.根據權利要求1所述的薄膜沉積裝置，其特征在于，所述熱液承載裝置的側壁設置有突出部，所述上蓋和所述襯底分別與所述突出部相抵，在所述上蓋與所述突出部相抵的部位設置有第一密封件，在所述襯底與所述突出部相抵的部位設置有第二密封件。

8.根據權利要求7所述的薄膜沉積裝置，其特征在于，在所述突出部上設置有用于固定所述襯底在所述突出部上的密封固定裝置。

9.根據權利要求2所述的薄膜沉積裝置，其特征在于，所述進料管的數量為兩個或兩個以上；所述清洗液輸送管道的數量為兩個或兩個以上。

10.一種沉積薄膜的方法，其特征在于，包括：

提供權利要求1中所述的薄膜沉積裝置；

開啟所述加熱裝置，對所述熱液承載裝置的熱液加熱，并使所述熱液對所述襯底進行加熱；

將所述反應液承載裝置中的反應液通過所述進料管輸送至所述沉積室，在所述襯底的另一個表面沉積薄膜，得到形成有薄膜的襯底；及

提起所述上蓋，排出廢液后取出所述形成有薄膜的襯底。