[發明專利]以光纖作為空間濾波器與擴束器的激光干涉微影設備

無效

• 申請號: 201210533934.2
• 申請日: 2012-12-12
• 公開（公告）號: CN103792795A
• 公開（公告）日: 2014-05-14
• 發明（設計）人: 傅建中;孫宜嶙;麥達維;林寶德;張恩獎;黃則斌
• 申請（專利權）人: 傅建中
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G02B27/09
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 任默聞

1.一種激光干涉微影設備，其特征是，所述激光干涉微影設備包含：

一激光光源，提供一第一激光光束；

一光學元件組合，光學耦接至所述激光光源，接收并處理所述第一激光光束以提供一道或多道第二激光光束；

一曝光載臺，用于承載一待曝物；以及

一光纖組，接收所述一道或多道第二激光光束并將所述一道或多道第二激光光束處理成一道或多道不具有空間雜訊的單一模態的穩定同調第三激光光束，所述光纖組的一工作波長范圍涵蓋所述第二激光光束的一波長，利用所述一道或多道第三激光光束于所述待曝物上產生一干涉圖案，其中在所述激光光源的一輸出端至所述曝光載臺的一光路中，不存在有針孔空間濾波器及擴束器。

2.如權利要求1所述的激光干涉微影設備，其特征是，所述光學元件組合提供所述一道第二激光光束，所述光纖組包含單一光纖，并輸出所述一道第三激光光束，所述光纖組的一第一端光學耦接至所述光學元件組合，且所述激光干涉微影設備更包含一固持器，耦接至所述光纖組的一第二端，其中所述曝光載臺承載一反射鏡，所述第三激光光束的一第一部分照射所述反射鏡并由所述反射鏡反射至所述待曝物，所述第三激光光束的一第二部分與所述第三激光光束的第一部分于所述待曝物上產生所述干涉圖案。

3.如權利要求2所述的激光干涉微影設備，其特征是，所述激光干涉微影設備更包含：

一光纖驅動機構，所述固持器安裝于所述光纖驅動機構上，所述光纖驅動機構驅動所述固持器移動或轉動。

4.如權利要求1所述的激光干涉微影設備，其特征是，所述激光干涉微影設備更包含：

一載臺驅動機構，所述曝光載臺安裝于所述載臺驅動機構，所述載臺驅動機構驅動所述曝光載臺移動或轉動。

5.如權利要求1所述的激光干涉微影設備，其特征是，所述激光干涉微影設備更包含：

一曝光劑量控制模塊，控制所述第三激光光束對所述待曝物曝光的劑量；

一光感測器，接收所述第三激光光束的一第三部分以產生一強度信號；以及

一處理器，連接至所述光感測器及所述光學元件組合的一快門，并依據所述強度信號及經過的時間控制所述快門的關閉。

6.如權利要求2項所述的激光干涉微影設備，其特征是，所述光學元件組合在從所述激光光源到所述光纖組的所述光路上依序包含：

一快門，光學耦接至所述激光光源；

一光圈；以及

一耦合器，耦接至所述光纖組的該第一端，其中所述光圈設置于所述快門與所述耦合器之間。

7.如權利要求2所述的激光干涉微影設備，其特征是，所述光學元件組合在從所述激光光源到所述光纖組的所述光路上依序包含：

一第一反射鏡、一第二反射鏡、一個半波片、一快門、一光圈、一透鏡以及一耦合器，所述第一反射鏡與所述第二反射鏡被調整以將所述第一激光光束反射至所述半波片，所述半波片將所述第一激光光束的線性偏振調整至一預設的偏振角，所述快門控制曝光時間，所述光圈除去所述第一激光光束的高強度空間雜訊，而所述透鏡對所述第一激光光束作更進一步處理。

8.如權利要求2所述的激光干涉微影設備，其特征是，所述激光干涉微影設備更包含：

一準直器，設置于所述光路上，并位于所述固持器與所述曝光載臺之間，將所述第三激光光束處理成平行光束。

9.如權利要求1所述的激光干涉微影設備，其特征是，所述曝光載臺包含一待曝物驅動機構，所述待曝物裝設于所述待曝物驅動機構上，所述待曝物驅動機構用于將所述待曝物轉動至多個方位角以進行多次的曝光以產生多個干涉圖案。

10.如權利要求1所述的激光干涉微影設備，其特征是，所述光學元件組合提供所述多道第二激光光束，所述光纖組包含多條光學耦接至所述光學元件組合的光纖，并輸出所述多道第三激光光束，所述等光纖的第一端光學耦接至所述光學元件組合，且所述激光干涉微影設備更包含多個固持器，分別耦接至所述多個光纖的第二端，所述固持器被設置成使所述多道第三激光光束于所述待曝物上產生所述干涉圖案。