[發明專利]一種用于極紫外光刻機光源的錫液滴靶產生裝置

無效

• 申請號: 201210533926.8
• 申請日: 2012-12-10
• 公開（公告）號: CN103064260A
• 公開（公告）日: 2013-04-24
• 發明（設計）人: 陳鴻;王新兵;朱海紅;左都羅;陸培祥
• 申請（專利權）人: 華中科技大學
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;H05G2/00
• 代理公司: 華中科技大學專利中心 42201
• 代理人: 朱仁玲

1.一種用于極紫外光刻機光源的錫液滴靶產生裝置，其特征在于，包括：

第一儲液器，用于儲存工作物質；

壓力裝置，用于使得所述第一儲液器中保持正壓；

恒溫控制器，用于對所述第一儲液器中儲存的工作物質進行加熱使所述工作物質熔化成液體狀態并保持恒溫；

真空噴射室，位于所述第一儲液器的底部，用于使噴射環境保持真空狀態；

噴孔，位于所述第一儲液器底部與所述真空噴射室頂部之間，使得第一儲液器與所述真空噴射室連通；在第一儲液器與真空噴射室壓力差的作用下，液體從所述噴孔噴出并形成射流柱；以及

均勻擾動裝置，用于給所述第一儲液器中的液體施加擾動并使得所述射流柱斷裂形成均勻液滴靶。

2.如權利要求1所述的錫液滴靶產生裝置，其特征在于，所述均勻擾動裝置包括工具頭、與所述工具頭的頂部固定連接的超聲波換能器以及與所述超聲波換能器連接的超聲波發生器；

工具頭從所述第一儲液器的頂部插入工作物質中，使得所述工具頭的底部端面與所述第一儲液器的底部之間形成狹縫；超聲波發生器輸出控制信號控制所述超聲波換能器振動的頻率和幅度，工具頭通過固定端面接收振動信號并傳遞至工作物質中，使得噴孔處的液體形成均勻擾動。

3.如權利要求2所述的錫液滴靶產生裝置，其特征在于，所述均勻擾動裝置還包括變幅桿，連接在所述工具頭的頂部與所述超聲波換能器之間，用于改變傳播到工具頭上振動的幅度。

4.如權利要求1所述的錫液滴靶產生裝置，其特征在于，所述噴孔包括金剛石圓孔、空芯光纖或不銹鋼管。

5.如權利要求1所述的錫液滴靶產生裝置，其特征在于，所述工作物質為錫或錫合金。

6.如權利要求1所述的錫液滴靶產生裝置，其特征在于，所述恒溫控制器包括：

第一電加熱器，環繞于所述第一儲液器的外壁，用于給所述第一儲液器中的工作物質加熱；

第一熱電偶，插入至所述工作物質中，用于檢測并反饋所述工作物質的溫度；以及

第一控制電路，與所述第一熱電偶連接，還與所述第一電加熱器連接，用于將第一熱電偶反饋的工作物質的溫度與設定的溫度閾值進行比較，并根據比較結果控制第一電加熱器的工作狀態。

7.如權利要求1所述的錫液滴靶產生裝置，其特征在于，所述錫液滴靶產生裝置還包括外部儲液裝置，通過管道與所述第一儲液器連接；用于給所述第一儲液器提供連續的工作物質。

8.如權利要求7所述的錫液滴靶產生裝置，其特征在于，所述外部儲液裝置包括：第二儲液器，環繞于所述第二儲液器的外壁的第二加熱器，插入至工作物質中的第二熱電偶，與所述第二熱電偶連接的第二控制電路以及依次位于所述管道上的第一濾網、閥門和第二濾網。